| 研究課題/領域番号 |
22246051
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| 研究機関 | 立命館大学 |
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研究代表者 |
青柳 克信 立命館大学, 立命館グローバル・イノベーション研究機構, 教授 (70087469)
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| 研究分担者 |
黒内 正仁 立命館大学, 立命館グローバル・イノベーション研究機構, ポストドクトラルフェロー (10452187)
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| 研究期間 (年度) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| キーワード | 深紫外光 / マイクロプラズマ / AlGaN / MIPE / 深紫外発光素子 / 水浄化 / 医療応用 / 高出力 |
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| 研究概要 |
「研究の目的」マイクロプラズマ励起AlGaN深紫外発光素子（MIPE DUV LE、通称MIPE）を新たに提案しその原理実証研究を行った。本方法が成功すれば発光素子のスケーリング則が成立するために、極端には１ｍ角の深紫外発光素子を作成することも可能でありそのときの発光出力は数ワット以上も容易に可能であると考えあれる。この様な大出力深紫外光は従来のLEDを用いた深紫外発光素子では実現不可能であり、またスケール則が成り立つため、製作が容易で水の浄化、医療応用、植物プラント応用等、多岐にわたる応用が期待される。本研究はこれらを目指し提案した新たな素子の原理実証を目的とした。
「研究の実施並びに結果」昨年に引き続き本年度はMIPEの大面積化を行った。その結果２インチ直径のウエファ全域で発光させることができる素子を作製することに成功し、発光波長は３０６nm、出力は50mWであった。また、短波長化の試みも行い、229nmで発光させることにせいこうした。また加速電圧依存性を計測し、加速電圧を550Vから600Vまであげることにより５倍の発光強度増強を観測した。
「結論」以上の結果よりMIPEはスケーリング則が成り立ち、大面積化することにより容易に高出力化を実現できることがわかった。また、LEDでは不得意な短波長発光も容易に実現できることがわかった。このMIPEを用い１ｍｘ５ｍのフラットパネルを作製すれば出力１００Wの高出力深紫外光源を容易に得ることができ、水、空気の浄化をはじめとして難分解性物質の分解、アトピー治療等の医療応用、新たな材料の光化学合成等、種々の応用が期待される。
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| 現在までの達成度 (区分) |
理由
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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