| 研究課題/領域番号 |
22246082
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
後藤 孝 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (60125549)
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| 研究分担者 |
塗 溶 東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (80396506)
伊藤 暁彦 東北大学, 金属材料研究所, 助教 (20451635)
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| 連携研究者 |
木村 禎一 (財)日本ファインセラミックスセンター, 材料技術研究所, 副主任研究員 (10333882)
堀田 幹則 大阪大学, 接合科学研究所, 特任研究員 (30431604)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| キーワード | 機能性セラミックス / メソプラズマ / 化学気相析出 / ナノポーラス / コーティング |
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| 研究概要 |
レーザー励起プラズマCVDに、さらにマイクロ波および電子サイクロトロン共鳴磁場を援用した新たなレーザー・マイクロ波ハイブリッドCVDを開拓し、新規低温・高速成膜プロセスを確立する。Nd:YAGレーザーを用いるレーザーCVDとマイクロ波、さらに電子サイクロトロン共鳴を組み合わせたレーザー・マイクロ波ハイブリッドメソプラズマCVD装置を設計・製作した。
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