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2010 年度 実績報告書

球面収差補正電子顕微鏡用高傾斜3軸試料ホルダーの開発

研究課題

研究課題/領域番号 22310068
研究機関九州大学

研究代表者

波多 聡  九州大学, 大学院・総合理工学研究院, 准教授 (60264107)

キーワード電子顕微鏡 / 試料ホルダー / トモグラフィー / 球面収差補正 / 3次元観察 / 試料ドリフト / 転位 / 回折
研究概要

申請者は、透過電子顕微鏡(TEM)および走査透過電子顕微鏡(STEM)のための高傾斜3軸試料ホルダーを世界で初めて開発し、転位をはじめとする結晶内部ナノ構造の3次元可視化技術を大きく進展させた。本研究では、球面収差(Cs)補正機付TEM/STEMのレンズ系調整を試料交換なしに行える機能を上記ホルダーに付与するとともに、熱膨張による試料ドリフトを抑える改良を施し、将来の超高分解能3次元TEM/STEM観察に対応できる新規高傾斜3軸試料ホルダーを開発することを目的としている。
本年度は、過去に作製した高傾斜3軸試料ホルダーを基にして、Cs補正TEM/STEM対応型の高傾斜3軸試料ホルダーを製作した。具体的には、(1)Cs補正レンズ系調整用の非晶質試料を観察試料の隣に取り付けた試料ステージ及び観察位置移動機構の設計と製作、(2)熱膨張による試料ドリフトを抑えるための各部材の材質と形状の変更、を連携研究者と共に検討、実施した。
製作した試料ホルダーを用いて、九州大学ならびに共同研究先のベルギー・アントワープ大学において、鉄鋼材料中の転位組織の3次元トモグラフィー観察を行った。まず、非晶質試料を用いたレンズ系調整が試料ホルダーの抜き差しをせずに行えることを確認した。次に、過去に作製した試料ホルダーに比べて試料ドリフトや試料傾斜に伴う試料移動の量が減少していることがわかった。結果として、より短時間に、かつ、精度良い回折条件の設定が可能となり、3次元転位像の取得が容易になるとともに画質と分解能の向上につながった。

  • 研究成果

    (15件)

すべて 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (9件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] 電子線トモグラフィーによる格子欠陥の3次元可視化2010

    • 著者名/発表者名
      波多聰, 他8名
    • 雑誌名

      まてりあ

      巻: 49 ページ: 274-279

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電子線トモグラフィーによる転位の三次元可視化技術2010

    • 著者名/発表者名
      田中將己, 他4名
    • 雑誌名

      顕微鏡

      巻: 45 ページ: 103-108

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Three-dimensional evaluation of dislocation arrangements using electron tomography in austenitic steel2010

    • 著者名/発表者名
      M.Mitsuhara, et al., (他5名)
    • 雑誌名

      Proc.31st Riso International Symp.on Mater.Sci.

      巻: ISBN978-87-550-3833-2 ページ: 353-360

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dislocation electron tomography of boundaries in deformed aluminum2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ramar, et al., (他4名)
    • 雑誌名

      Proc.31st Riso International Symp.on Mater.Sci.

      巻: ISBN978-87-550-3833-2 ページ: 397-404

    • 査読あり
  • [雑誌論文] β型Ti合金に生成する時効ω相の微細構造2010

    • 著者名/発表者名
      西田稔, 他5名
    • 雑誌名

      熱処理

      巻: 50 ページ: 531-532

    • 査読あり
  • [学会発表] A new high-angle triple-axis specimen holder and its applications to electron tomography2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hata, M.Mitsuhara
    • 学会等名
      EMAT Friday Lecture
    • 発表場所
      University of Antwerp, Belgium(招待講演)
    • 年月日
      2011-03-11
  • [学会発表] TEMによる転位の3次元分布観察2011

    • 著者名/発表者名
      波多聰
    • 学会等名
      PF研究会「X線トポグラフィーの現状と展望」
    • 発表場所
      KEK-PF、つくば市(招待講演)
    • 年月日
      2011-01-11
  • [学会発表] 金属材料のTEMトモグラフィー観察における進展2010

    • 著者名/発表者名
      波多聰
    • 学会等名
      平成22年度日本顕微鏡学会北海道支部学術講演会
    • 発表場所
      酪農学園大学、北海道江別市(招待講演)
    • 年月日
      2010-12-11
  • [学会発表] 鉄鋼研究におけるSTEMイメージングと3次元トモグラフィーの応用2010

    • 著者名/発表者名
      波多聰
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会 鉄鋼科学セミナー2010「鉄の強度、塑性と破壊:新しい要求に向けた基礎と新規アプローチ」
    • 発表場所
      コープビル、東京(招待講演)
    • 年月日
      2010-12-07
  • [学会発表] Three-dimensional microstructural observation in crystalline materials by transmission electron microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      S. Hata, M. Mitsuhara, T. Kawai, K. Ogata, K. Ikeda, H. Nakashima, M. Nishida, S. Matsumura, T. Daio, M. Doi, H. Miyazaki
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting 2010
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2010-12-02
  • [学会発表] TEM-CTの分解能における課題:材料系の立場から2010

    • 著者名/発表者名
      波多聰, 他6名
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会第160回秋季講演大会 材料の組織と特性部会 階層的3D4D解析に基づく材料信頼性向上フォーラムシンポジウム
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2010-09-27
  • [学会発表] Development of 3D TEM imaging techniques using diffraction contrast2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hata, 他8名
    • 学会等名
      The 17th International Microscopy Congress
    • 発表場所
      Rio de Janeiro, Brazil
    • 年月日
      2010-09-22
  • [学会発表] TEMトモグラフィーによる金属材料評価2010

    • 著者名/発表者名
      波多聰, 他5名
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会 シンポジウム「材料分野における量子ビーム応用の進展」
    • 発表場所
      長崎大学(招待講演)
    • 年月日
      2010-09-13
  • [学会発表] 高傾斜3軸試料ホルダーとその応用2010

    • 著者名/発表者名
      波多聰, 他5名
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第66回学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(ポスター賞受賞)
    • 年月日
      2010-05-24
  • [備考]

    • URL

      http://www.melbuild.com/

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公開日: 2012-07-19  

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