| 研究課題/領域番号 |
22310086
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| 研究機関 | 徳島大学 |
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研究代表者 |
永瀬 雅夫 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (20393762)
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| 研究分担者 |
関根 佳明 日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 社員 (70393783)
影島 博之 日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 主任研究員 (70374072)
山口 浩司 日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 部長 (60374071)
岡本 創 日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 社員 (20350465)
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| キーワード | ナノ材料 / マイクロ・ナノデバイス / 計測工学 / グラフェン |
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| 研究概要 |
ポストシリコンの電子材料として注目を浴びているグラフェンの局所電子物性と機械物性の制御を実現してデバイス化への路を探る。グラフェンの優れた各種の物性を複合化して新たなデバイスを実現することは重要な課題であり、本研究課題では、電子・機械複合物性を利用したグラフェン薄膜の新たな機能発現の可能性を探索する。
今年度は、SiC上グラフェンのナノ電子物性計測手法の確立を行い、グラフェンと金属プローブとのコンタクト特性を明らかにした。これにより、電子物性と機械物性の複合物性の発現の一例である高均一グラフェンのステップ近傍で発現する電流スイッチ現象の原理解明の手がかりを得た。機械物性の基礎評価法としてグラフェンの摩擦像の層数依存性の検討に着手し、摩擦像により層数評価が可能であり、より詳細な検討を行えば定量化も可能であるとの結果を得た。高均一なグラフェン薄膜の達成は、そのデバイス化に不可欠であり、電子物性、及び、機械物性共に大きな影響を受けることが予測されるため、顕微ラマン分光法を用いた膜質評価技術にも着手した。今後、膜質の定量評価技術を確立し、さらに電子・機械物性との相関を明らかにする。
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