研究課題
基盤研究(B)
レーザープラズマ軟X線によるポリジメチルシロキサン(PDMS)のアブレーション加工法について研究した。この方法で、1μmのスケールで精密にPDMSのアブレーション加工を可能にした。測定を行った範囲では、レーザープラズマ軟X線の波長に強く依存ことはなく、PDMS表面での軟X線のパワー密度により加工特性が決まっていることを明らかにした。軟X線照射面の化学的改質は観測できなかった。このように、マイクロメートルスケールでのPDMSの微細加工に有用な加工特性を実現した。
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