ポリジメチルシロキサンの軟Ｘ線直接加工

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22360016
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 筑波大学
• 研究代表者: 牧村 哲也 筑波大学, 数理物質系, 准教授 (80261783)
• 研究分担者: 岡田 龍雄 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (90127994)
• 研究期間 (年度): 2010-04-01 – 2014-03-31
• キーワード: レーザープラズマ軟X線 / ポリジメチルシロキサン / シリコーンエラストマー / マイクロ加工 / 極端紫外光 / 光直接加工

研究概要

レーザープラズマ軟Ｘ線によるポリジメチルシロキサン(PDMS)のアブレーション加工法について研究した。この方法で、1μmのスケールで精密にPDMSのアブレーション加工を可能にした。測定を行った範囲では、レーザープラズマ軟Ｘ線の波長に強く依存ことはなく、PDMS表面での軟Ｘ線のパワー密度により加工特性が決まっていることを明らかにした。軟Ｘ線照射面の化学的改質は観測できなかった。このように、マイクロメートルスケールでのPDMSの微細加工に有用な加工特性を実現した。

研究成果

• [雑誌論文] 軟X線による物質アブレーション (2014)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 錦野将元, 河内哲哉
  • 雑誌名: レーザー研究 巻: vol.42 ページ: 45-49
  • 査読あり
• [雑誌論文] Absorption mechanism of the second pulse in double-pulse femtosecond laser glass microwelding (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, 他6名
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol.21 ページ: 24049-24059
  • DOI: 10.1364/OE.21.024049
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of extreme ultraviolet emission from mid-infrared laser-produced rare-earth Gd plasmas (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, 他14名
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol.21 ページ: 31837-31845
  • DOI: 10.1364/OE.21.031837
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization and mechanism of glass microwelding by double-pulse ultrafast laser irradiation (2012)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, 他8名
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol.20 ページ: 28893-28905
  • DOI: 10.1364/OE.20.028893
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of Polymethylmethacrylate and Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma Soft X-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他5名
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro / Nanoengineering 巻: vol.6 ページ: 235-238
  • 査読あり
• [雑誌論文] Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of CO_2 laser with Fresnel diffraction (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okda, 他6名
  • 雑誌名: Applied Physics 巻: vol.104 ページ: 593-599
  • DOI: 10.1007/s00339-011-6364-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Direct etching of poly (methyl methacrylate) using laser plasma soft X-rays Applied (2010)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 雑誌名: Physics Express 巻: vol.3 ページ: 066502
  • DOI: 10.1143/APEX.3.066502
  • 査読あり
• [雑誌論文] XUV～X線による材料加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 他3名
  • 雑誌名: レーザー研究 巻: vol.38 ページ: 957-962
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, T.Okada, 他6名
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 巻: vol.5 ページ: 269-272
  • 査読あり
• [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーション (2014)
  • 著者名/発表者名: 鳥居 周一, 牧村 哲也, 新納 弘之, 村上 浩一
  • 学会等名: 2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 青山学院大学 相模原キャンパス, 東京
  • 年月日: 2014-03-19
• [学会発表] Micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他7名
  • 学会等名: The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Toki Messe Niigata Convention Center, Niigata
  • 年月日: 2013-07-24
• [学会発表] Micromachining of Polydimethylsiloxane using EUV light (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他7名
  • 学会等名: The 10th Conference on Lasers and Electo-Optics Pacific Rim 2013
  • 発表場所: Kyoto International Confernce Center, Kyoto
  • 年月日: 2013-07-03
• [学会発表] Responses of organic and inorganic materials to intense EUV radiation from laser-produced plasmas, SPIE Europe 2013 (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他5名
  • 学会等名: Optics+Optoelectronics
  • 発表場所: プラハ, チェコ
  • 年月日: 2013-04-15
  • 招待講演
• [学会発表] Direct micromachining of polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2013)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 学会等名: 5th International Symposium on Nanomedicine
  • 発表場所: Nagoya University, Aichi
  • 年月日: 2013-03-26
• [学会発表] Process of Silica Ablation Induced by Soft X-Ray Irradiation (2012)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tasuo Okada, 他6名
  • 学会等名: International Conference on Electronic Materials 2012
  • 発表場所: Pacifico Yokohama, Kanagawa
  • 年月日: 20120923-28
• [学会発表] Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, 他3名
  • 学会等名: 2011 Pcific-Rim Laser Damage
  • 発表場所: Shanghi, China
  • 年月日: 2011-11-07
  • 招待講演
• [学会発表] Micromachining of polymethylmethacrylate and polydimethylsiloxane using laser plasma soft X-rays (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 学会等名: The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Kagawa Interntional Conference Hall, Kagawa
  • 年月日: 2011-06-07
• [学会発表] Micromachining of Polydimethylsiloxane induced by laser plasma EUV light (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, T. Okada, 他6名
  • 学会等名: SPIE Optics + Optoelectronics 2011
  • 発表場所: Prague Congress Centre. Prague, Czech
  • 年月日: 2011-04-20
• [学会発表] Responses of polymers to laser plasma EUV light beyond ablation threshold and micromachining (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuya Makimura, Tatsuo Okada, 他6名
  • 学会等名: SPIE Optics + Optoelectronics 2011
  • 発表場所: Prague Congress Centre. Prague, Czech
  • 年月日: 2011-04-19
  • 招待講演
• [学会発表] レーザープラズマ軟X線によるシリコーンゴムのアブレーション加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 牧村哲也, 岡田龍雄, 他6名
  • 学会等名: 2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学 文京キャンパス, 長崎
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] Micromachining of transparent materialswith Fresnel diffraction of infrared radiation (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, T. Okada, 他6名
  • 学会等名: 11th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Stuttgart, Germany
  • 年月日: 2010-06-07
• [備考]
  • URL: http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~makimura/