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2011 年度 実績報告書

X線CTR散乱ホログラフィによる原子分解界面構造解析法の開発とその応用

研究課題

研究課題/領域番号 22360018
研究機関東京大学

研究代表者

高橋 敏男  東京大学, 物性研究所, 教授 (20107395)

研究分担者 白澤 徹郎  東京大学, 物性研究所, 助教 (80451889)
キーワードX線回折 / 放射線 / 超薄膜 / 表面・界面 / 位相問題 / 直接法 / CTR散乱 / トポロジカル絶縁体
研究概要

半導体エレクトロニクスに代表されるように、デバイスの高機能化微細化に伴い、界面構造を理解することの重要性が増大している。デバイスの特性は、界面付近の構造に敏感であることはよく知られているが、これまで、界面付近の構造を原子スケールで評価する方法がほとんどなく研究が進展していない。申請者は、これまでX線回折法、とくにCTR(結晶トランケーションロッド)散乱法により、表面・界面、超薄膜の構造を決定してきた。本研究では、構造モデルを立てることなく、CTR散乱の測定データから直接的に表面・界面、超薄膜の構造を原子分解能で求める方法を確立し、その手法を興味ある系に発展的に応用して行くことを目的としている。本年度は、試料作製評価装置に低速電子回折装置(LEED)を整備し、さらに、金属を制御して蒸着できる蒸着源も整備した。測定試料には、Si(111)基板の上にエピタキシャル成長させたBi超薄膜を用いて、超薄膜および界面を原子層単位で直接的に構造を求めることを試みた。複数の位相回復法を組み合わせることにより、Bi超薄膜とSi基板の間に、濡れ層と考えられる原子層が存在することがモデルフリーに導けることができた。この結果は、それまでに得られた電子状態に関する測定結果を解釈する上で極めて重要な知見を与えるものであった。さらに、Bi超薄膜構造について得られた結果は、Biのトポロジカル絶縁体として特性を議論する上で重要な結論を与えるものであった。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

Si基板上にエピタキシャル成長したBi超薄膜について、原子分解能で原子層を再構成できた。とくに、界面にある濡れ層の存在をモデルを仮定することなく直接的に示すことに成功した。

今後の研究の推進方策

位相回復して直接的に原子分解能で構造を求めることをいくつかの注目されている系で行い、方法論を確立するとともに、それらの系で重要な知見を導き出す。

  • 研究成果

    (9件)

すべて 2012 2011

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (7件)

  • [雑誌論文] Interface of a Bi(001) film on Si(111)-7×7 imaged by surface x-ray diffraction2011

    • 著者名/発表者名
      T.Shirasawa, M.Ohyama, W.Voegeli, T.Takahashi
    • 雑誌名

      Phys.Rev.B

      巻: 84 ページ: 075411(1-8)

    • DOI

      DOI:10.1103/PhysRevB.84.075411

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quick Measurement of Crystal Truncation Rod Profiles in Simultaneous Multi-Wavelength Dispersive Mode2011

    • 著者名/発表者名
      T.Matsushita, T.Takahashi, T.Shirasawa, E.Arakawa, H.Toyokawa, H.Tajiri
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys.

      巻: 110 ページ: 102209(1-8)

    • DOI

      DOI:10.1063/1.3661656

    • 査読あり
  • [学会発表] Bi2Te3上のBi超薄膜の電子状態と表面構造解析2012

    • 著者名/発表者名
      平原徹
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      関西学院大学
    • 年月日
      2012-03-25
  • [学会発表] 表面X線回折法によるBi/Bi2Te3トポロジカル絶縁体界面の構造研究2012

    • 著者名/発表者名
      白澤徹郎
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      関西学院大学
    • 年月日
      2012-03-24
  • [学会発表] 多波長同時分散型光学系を用いた迅速3次元逆格子空間マッピング2012

    • 著者名/発表者名
      白澤徹郎
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-15
  • [学会発表] X線CTR散乱を用いた表面及び界面の原子イメージング2012

    • 著者名/発表者名
      高橋敏男
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学(招待講演)
    • 年月日
      2012-03-15
  • [学会発表] ラウエケースのX線CTR散乱2011

    • 著者名/発表者名
      高橋敏男
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2011-09-23
  • [学会発表] 多波長同時分散型X線CTR散乱法の時分割測定への応用2011

    • 著者名/発表者名
      白澤徹郎
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2011-09-23
  • [学会発表] X線CTR散乱法によるペンタセン超薄膜の界面構造2011

    • 著者名/発表者名
      大山真実
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2011-09-21

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公開日: 2013-06-26  

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