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2011 年度 実績報告書

半導体結合共振器による面型テラヘルツ波発生素子の研究

研究課題

研究課題/領域番号 22360030
研究機関徳島大学

研究代表者

北田 貴弘  徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 特任准教授 (90283738)

研究分担者 井須 俊郎  徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 特任教授 (00379546)
森田 健  徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 特任講師 (30448344)
キーワードテラヘルツ/赤外材料・素子 / 微小共振器 / 非線形光学応答 / MBE、エピタキシャル / 半導体ナノ構造
研究概要

結合した半導体多層膜共振器に生じる2つの異なる周波数の共振器モードを利用した面型テラヘルツ波発生素子の実現を目指し、本年度は、GaAsを共振器層とする(113)B GaAs基板上のGaAs/AlAs結合共振器について超短パルスレーザ光と光伝導アンテナによるテラヘルツ帯差周波発生信号の時間領域分光測定を実施するともに、伝達マトリックス法を使って超短パルス照射で生じるテラヘルツ帯差周波信号をシミュレートする技術を確立した。時間領域分光測定で得られた時間プロファイルには、2つの共振器モード周波数差に一致する明瞭な振動成分がみられ、その振る舞いはシミュレーション結果によりよく説明できることがわかった。また、信号強度の励起光偏光方向依存性は2次非線形分極の面内異方性の計算値とよく一致することも示された。(113)B GaAs基板上の分子線エピタキシー結晶成長と表面活性化常温ウエハ接合を組み合わせることで分極反転型GaAs/AlAs結合共振器構造の作製を試みた。反射スペクトルには2つの共振モードが明瞭にみられ、超短パルス照射により高強度の共振器モードによる和周波発生信号が観測されることから比較的に品質の良い試料が作製できたと思われる。分極反転構造の差周波信号シミュレーションを実施したところ、非反転構造に比較して1桁程度の信号増強効果があることがわかった。共振器層に用いる非線形材料探索として(113)B GaAs基板上にInAs量子ドットの作製を試みた。発光強度はまだ幾分小さいが、高成長速度でドット密度が増加し、長波長化する傾向がみられた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

テラヘルツ波帯差周波発生には不利な分極非反転結合共振器構造でかつ超短パルス光励起という制限がありながらもモード周波数差に対応する周波数のテラヘルツ波が顕著に観測された点に著しい進展があったといえる。分極反転によるテラヘルツ波増強もシミュレーションによって具体的に示され、高品質な分極反転構造作製の目途も立っていることから今後、さらに大きく研究が進展する可能性が高い。

今後の研究の推進方策

面型テラヘルツ波発生素子の実現には、分極制御と共振器層に用いる非線形材料の選択が極めて重要であることが明らかになりつつある。結晶成長とウエハ接合による分極反転型結合共振器構造を作製する技術を高めるとともに、高非線形材料として量子ドット探索に力を入れる。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2012 2011

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (10件)

  • [雑誌論文] Generation of Terahertz Radiation from Two Cavity Modes of a GaAs/AlAs Coupled Multilayer Cavity2011

    • 著者名/発表者名
      K. Morita, S. Katoh, T. Takimoto, F. Tanaka, Y. Nakagawa, S. Saito, T. Kitada, and T. Isu
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: Vol.4, No.10 ページ: 102102-1-3

    • DOI

      10.1143/APEX.4.102102

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Novel terahertz emission devices based on efficient optical frequency conversion in GaAs/AlAs coupled multilayer cavity structures on high-index substrates2011

    • 著者名/発表者名
      T. Kitada, F. Tanaka, T. Takahashi, K. Morita, and T. Isu
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE

      巻: Vol.7937 ページ: 79371H-1-6

    • DOI

      10.1117/12.872103

  • [雑誌論文] Time-Resolved Measurements of Sum-Frequency Generation Strongly Enhanced in (113)B GaAs/AlAs Coupled Multilayer Cavity2011

    • 著者名/発表者名
      F.Tanaka, et al
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50 ページ: 04DG03(4)

    • DOI

      DOI:10.1143/JJAP.50.04DG03

    • 査読あり
  • [学会発表] 分極反転したGaAs/AlAs結合共振器によるテラヘルツ帯差周波発生2012

    • 著者名/発表者名
      森田健, 他
    • 学会等名
      2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都新宿区)
    • 年月日
      2012-03-18
  • [学会発表] 超短パルス光照射によるGaAs/AlAs結合共振器かりのアフヘル帯差周波発生とそのシミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      北田貴弘, 他
    • 学会等名
      2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都新宿区)
    • 年月日
      2012-03-16
  • [学会発表] GaAs/AlAs多層膜結合共振器構造によるテラヘルツ発光素子2012

    • 著者名/発表者名
      井須俊郎, 他
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第32回年次大会
    • 発表場所
      TKP仙台カンファレンスセンター(宮城県仙台市)(招待講演)
    • 年月日
      2012-01-31
  • [学会発表] Terahertz radiation from a (113)B GaAs/AlAs coupled multilayer cavity by ultrashort laser pulse excitation2011

    • 著者名/発表者名
      S.Katoh, et al
    • 学会等名
      2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2011)
    • 発表場所
      愛知県産業労働センター(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2011-09-29
  • [学会発表] (113)B GaAs/AlAs多層膜結合共振器構造におけるテラヘルツ帯差周波信号の励起偏光方向依存性2011

    • 著者名/発表者名
      加藤翔, 他
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県山形市)
    • 年月日
      2011-09-01
  • [学会発表] GaAs/AlAs結合共振器に生じる非線形分極とテラヘルツ帯差周波発生2011

    • 著者名/発表者名
      北田貴弘, 他
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県山形市)
    • 年月日
      2011-08-31
  • [学会発表] GaAs/AlAs結合共振器における二つの共振器モードを利用したテラヘルツ帯差周波発生2011

    • 著者名/発表者名
      森田健, 他
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県山形市)
    • 年月日
      2011-08-31
  • [学会発表] GaAs/AlAs多層膜結合共振器のテラヘルツ帯差周波発生の分極反転効果2011

    • 著者名/発表者名
      滝本隼主, 他
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県山形市)
    • 年月日
      2011-08-31
  • [学会発表] Terahertz Difference-frequency Generation of two cavity modes in a (113)B GaAs/AlAs coupled multilayer cavity2011

    • 著者名/発表者名
      S.Katoh, et al
    • 学会等名
      第30回電子材料シンポジウム(EMS-30)
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県守山市)
    • 年月日
      2011-06-30
  • [学会発表] GaAs/AlAs coupled multilayer cavity with polarization inverted structure fabricated by wafer-bonding method2011

    • 著者名/発表者名
      K.Morita, et al
    • 学会等名
      The 38th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2011)
    • 発表場所
      Maritim proArte Hotel(ベルリン、ドイツ)
    • 年月日
      2011-05-24

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公開日: 2013-06-26  

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