| 研究概要 |
本研究は,光学的にナノ形状を検出するために，ミュラー行列偏光計によるデポラリゼイション（偏光解消）顕微鏡を提案した．一般的に光は回折限界があるため波長以下の空間的な形状計測は困難である．特に，波長以下の構造になると高次の回折光が発生しない．しかしながら，ナノ形状によって生じる反射光や散乱光の偏光状態が変化することが知られている．ここでは偏光情報，つまり，複屈折，旋光，二色性，円二色性，偏光解消の波長特性を高精度に実時間でかつその場評価を可能とするデポラリゼイション顕微鏡を新規に製作し，これによってナノ構造の検出を試みるナノトポメトリーという新規な分野の開拓に取り組んできた．
平成２２，２３年度に検討を行った透過型デポラリゼイション顕微鏡の有用性と様々分野で実証するため，光プローブによる結果を踏まえて，近接場プローブを用いたデポラリゼイション顕微鏡を構築した．この透過型デポラリゼイション顕微鏡と平行して，厳密結合波解析（RCWA）と境界要素法によって数値解析から得られたストークスパラメータからナノ構造の決定法を確立した．また，近接場プローブ検出される光強度は，とても微弱になるのでフォトンカウンティング検出器を導入し，これによる高ダイナミックレンジ偏光計を開発した．これらの検討結果から，光強度の検出感度が11桁という超高ダイナミックレンジが期待できる．フォトンティング近接場ミュラー行列偏光計の確立の可能性を見いだした．
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