デポラリゼイション顕微鏡によるナノ形状計測

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22360057
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 宇都宮大学
• 研究代表者: 大谷 幸利 宇都宮大学, オプティクス教育研究センター, 教授 (10233165)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 超精密計測 / ナノ形状 / ミュラー行例 / 散乱光解析 / 偏光解消

研究概要

光学的にナノ形状の検出を可能とするために,光ファイバー・プローブ型によるデポラリゼイション(偏光解消)顕微鏡を提案した.また,ストークス・パラメータの検出には2重回転法を用い,一般解から1対3の回転比が最適であることを見いだした.開発したデポラリゼイション顕微鏡によって,形状によって生じる反射光や散乱光の偏光情報から高精度なナノ形状計測を可能した.

研究成果

• [雑誌論文] All polarization properties of PLZT ferroelectric ceramics observed in two dimensional distributions under applied voltage by the Mueller matrix (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Ginya,Y.Mizutani,T.Iwata,Y.Otani
  • 雑誌名: Sensors and Actuators A: Physical(2013)
  • DOI: DOI:http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.
  • 査読あり
• [学会発表] 一般化二重回転型ストークス偏光計 (2013)
  • 著者名/発表者名: 水谷亮太,若山俊隆,大谷幸利
  • 学会等名: 応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工業大学,神奈川
  • 年月日: 2013-03-27
• [学会発表] Imaging Stokes polarimeter by dual rotating retarder and analyzer and itsapplication of evaluation of Japanese lacquer (2012)
  • 著者名/発表者名: Ryota Mizutani, Tomoharu Ishikawa, Miyoshi Ayama, Yukitoshi Otani
  • 学会等名: Photonics Asia - Optical Metrology and Inspection for Industrial Applications II
  • 発表場所: Beijing China
  • 年月日: 2012-11-06
• [学会発表] 広ダイナミックレンジ光強度検出機構を用いたストークス散乱偏光計 (2012)
  • 著者名/発表者名: 江馬雅好,喜入朋宏,茨田大輔,早崎芳夫,大谷幸利,谷田貝豊彦
  • 学会等名: 日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan2012
  • 発表場所: タワーホール船堀,東京
  • 年月日: 2012-10-25
• [学会発表] (2012)
  • 著者名/発表者名: Yukitoshi Otani
  • 学会等名: SEM Congress & Exposition on Experimental & Applied Mechanics
  • 発表場所: Costa Mesa, CA, USA,招待講演
  • 年月日: 2012-06-13
• [学会発表] Stokes polarimeter with optical fiber probe (2011)
  • 著者名/発表者名: R.Mizutani, Y.Otani
  • 学会等名: ISOT2011
  • 発表場所: Hong Kong, China
  • 年月日: 2011-11-02
• [学会発表] 光ファイバープローブ型ストークス偏光計 (2011)
  • 著者名/発表者名: 水谷亮太,大谷幸利
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 金沢大学,石川
  • 年月日: 2011-09-21
• [図書] (M.Losurdo, K. Hingerl(Eds.)) Chapter 8 Ellipsometry at the Nanostructure (2013)
  • 著者名/発表者名: Y.Mizutani, Y.Otani
  • 総ページ数: 313-323
  • 出版者: Ellipsometry at the Nanoscale(Springer)
• [備考]
  • URL: http://www.opt.utsunomiya-u.ac.jp/~otani/