| 研究概要 |
駆動周波数は9.61MHzで,ステータ基板としては,長さ 80 mm,幅 13 mm,厚さ 1 mm のニオ ブ酸リチウム128°回転Y板,X伝搬を用いた弾性表面波モータを試作した。スライダにつ いては,ステータの波動伝搬幅より僅かに狭い 9 mm とし,長さは 4 mm の素子を用いた。モー タ全体の高さを低く抑えるために,薄いステンレス板による平行板ばねとした。無負荷速度と しては 1.3 m/s が得られ,コンパクトなモータとして最大速度の記録となった。大型の評価装 置と同じ無負荷速度が,各駆動電圧値で得られており,予圧機構の安定化により,高い速度を 実現した。推力については,デバイス質量約 5.4g,装置全体でも 205g であるのに対し,推力11 N を実現し,大推力アクチュエータであることを実証した。高い速度と高推力により,高出 力なマイクロリニアモータの実現に成功した。
|
