| 研究概要 |
過去に事例のない斬新な製法により,構造,組成を制御したファイバー形状のβジケトン金属錯体を創成し,その金属錯体を有機金属気相成長(MO-CVD)の出発原料とした。この原料を利用して,市販の金属錯体では実現できなかった高品質酸化亜鉛薄膜が得られた。また,TFTプロセスにレーザ直接描画法を導入し,ZnO薄膜トランジスタ(ZnO-TFT)が完成した。このZnO薄膜の製法を基本に,二次元的に結晶軸と結晶品質が制御されたa軸配向ZnO薄膜が得られたが,本研究の期間内ではa軸配向ZnO薄膜を利用したZnO-TFTの実現には至らなかった。
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