|
活性窒素源支援真空蒸着法に斜め堆積法を適用することによって，小腸内壁細胞の微絨毛状構造を模倣した微細構造を有するＩｎＮ薄膜を作製し，そのエレクトロクロミック（ＥＣ）特性および繰返し色変化に対する耐久特性を評価した．その結果，以下のことが明らかとなった．
（１）Ｉｎ流束に対する基板の角度が６０°では自己遮蔽効果が現れず，空隙のない均一膜が堆積された．一方，８５°の角度では，平均径２００ｎｍ，平均空隙２０ｎｍの微絨毛状微細構造を有するＩｎＮ膜が堆積した．
（２）微絨毛膜のＥＣ現象において，最大透過率変化５８％@６８０ｎｍ，最大光学密度変化：０．６１＠６１０ｎｍ，また最大吸収係数変化：３８０００ｃｍ－１＠６１０ｎｍを得た．また，色変化は明状態→暗状態，暗状態→明状態どちらも０．１ｓのオーダーで終了した．
（３）色変化の繰返し耐久試験の結果，均一膜では５７０００回，微絨毛膜では２１０００回で寿命となった．色変化繰返しに伴うＩｎＮ膜の劣化現象は，表面のＩｎＮがＩｎ（ＯＨ）３に不可逆的に変質することが原因であることが明らかとなった．すなわち，色変化を増大させるために導入した微絨毛構造は，色変化繰返しによる劣化を早めることが明らかとなった．
（４）微絨毛膜を用いて構成された調光窓を設けた２０ｃｍ×２０ｃｍ×２０ｃｍの木製箱に，２時間のランプ光照射を行ったところ，調光窓が暗状態の場合，明状態と比較して，木製箱内の温度に１．６℃の相違があり，調光窓としての動作が確認された．
|
