バイオミメティック超高速・高効率エレクトロクロミック薄膜の高耐久化

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22360266
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 金属物性
• 研究機関: 千葉工業大学
• 研究代表者: 井上 泰志 千葉工業大学, 工学部, 教授 (10252264)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 薄膜物性 / エレクトロクロミック / 窒化インジウム / 斜め堆積法 / バイオミメティック / 反応性プラズマ

研究概要

反応性プラズマプロセスに斜め堆積法を適用することにより作製した微絨毛状 InN 薄膜の耐久性劣化の要因が,薄膜表面への In(OH)3 微粒子の析出にあることを明らかにした.

研究成果

• [雑誌論文] 小腸絨毛構造に学ぶ形態制御エレクトロクロミック薄膜 (2012)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,高井治
  • 雑誌名: 材料の科学と工学 巻: Vol.49, No.4 ページ: 162-165
  • 査読あり
• [雑誌論文] 微絨毛構造化 InN 薄膜のエレクトロクロミック色変化繰返し耐久性
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,小田哲也,木村 光,高井治
  • 雑誌名: 表面技術
  • 査読あり
• [学会発表] 吸着誘起型 EC デバイスの調光特性調査 (2013)
  • 著者名/発表者名: 木村 光,小田哲也,井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 表面技術協会第127回講演大会
  • 発表場所: 日本工業大学
  • 年月日: 20130300
• [学会発表] 窒化インジウム薄膜のエレクトロクロミック耐久性に対する微細構造の影響 (2013)
  • 著者名/発表者名: 小田哲也,木村 光, 井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 表面技術協会第127回講演大会
  • 発表場所: 日本工業大学
  • 年月日: 20130300
• [学会発表] 斜め堆積法により作製した微細構造化ITO 薄膜の透過率スペクトル (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐藤 怜,大川修平,荻島大樹, 井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 表面技術協会第127回講演大会
  • 発表場所: 日本工業大学
  • 年月日: 20130300
• [学会発表] 斜め堆積スパッタリング法による窒化スズ薄膜の作製と微細構造制御 (2013)
  • 著者名/発表者名: 大川修平,荻島大樹,佐藤 怜, 井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 表面技術協会第127回講演大会
  • 発表場所: 日本工業大学
  • 年月日: 20130300
• [学会発表] Cyclic Durability for Adsorption-induced Electrochromism of InN Films withBiomimetic Microvillus-like Nanostructure (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Inoue, T. Oda, H. Kimura, and O. Takai
  • 学会等名: 13th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing (BMMP13)
  • 発表場所: Takayama
  • 年月日: 20130100
• [学会発表] 斜め堆積反応性スパッタリングにより作製した微絨毛構造化窒化スズ薄膜の特性 (2013)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,大川修平,佐藤 怜,荻島大樹,高井 治
  • 学会等名: 第30回プラズマプロセシング研究会(SPP-30)
  • 発表場所: 浜松研修交流センター
  • 年月日: 20130100
• [学会発表] 斜め堆積スパッタ膜の微細構造に対する表面吸着ポテンシャルの影響 II (2012)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 第56回日本学術会議材料工学連合講演会
  • 発表場所: 京都テルサ
  • 年月日: 20121000
• [学会発表] Energy saving in air conditioning by adsorption-induced electrochromic device (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Inoue, H. Kimura, T. Oda, O. Takai
  • 学会等名: 11th Asia-Pasific Conf. Plasma Sci.Technol
  • 発表場所: Kyoto Univ
  • 年月日: 20121000
• [学会発表] Cyclic durability for adsorption-induced electrochromism of InN films with isolated nanocolumnar structure (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Inoue, S. Ohkawa, T. Oda, R. Sato, H. Kimura, and O. Takai
  • 学会等名: IUMRS Int. Conf. Electronic Mater. 2012
  • 発表場所: Pacifico Yokohama
  • 年月日: 20120900
• [学会発表] プラズマ環境における斜め堆積プロセスのモンテカルロシミュレーション (2012)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,大川修平
  • 学会等名: 日本金属学会 2012 年秋期(第151回)講演大会
  • 発表場所: 愛媛大学
  • 年月日: 20120900
• [学会発表] 斜め堆積反応性蒸着法による窒化物薄膜のナノ微細構造制御 (2012)
  • 著者名/発表者名: 田中元樹,大久保剣,木村拓也,井上泰志, 高井 治
  • 学会等名: 日本金属学会第150回春期講演大会
  • 発表場所: 横浜国立大学
  • 年月日: 20120300
• [学会発表] 近紫外波長領域で動作するエレクトロクロミック薄膜の探索 (2012)
  • 著者名/発表者名: 石附達也,田中元樹,大久保剣,木村拓也, 井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 日本金属学会第150回春期講演大会
  • 発表場所: 横浜国立大学
  • 年月日: 20120300
• [学会発表] 窒化スズ薄膜の結晶相に対する基板角度条件の影響 (2012)
  • 著者名/発表者名: 細貝健史,井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 応用物理学会第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学
  • 年月日: 20120300
• [学会発表] 酸化スズ薄膜のエレクトロクロミック特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,石附達也,高井 治
  • 学会等名: 表面技術協会第125回講演大会
  • 発表場所: 東京都市大学
  • 年月日: 20120300
• [学会発表] Deterioration Phenomenon in the Cyclic Polarization of Electrochromic InN (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Ohkubo, T. Kimura, G. Tanaka, Y. Inoue, O. Takai
  • 学会等名: The 12th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing
  • 発表場所: Nagoya Univ
  • 年月日: 20120100
• [学会発表] Development of EC Cell using Biomimetic-designed InN Film (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Kimura, K. Ohkubo, G. Tanaka, Y. Inoue, O. Takai
  • 学会等名: The 12th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing
  • 発表場所: Nagoya Univ
  • 年月日: 20120100
• [学会発表] Nanostructure Control in Biomimetic-designed InN Films Deposited by Glancing-angle Reactive Evaporation (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Inoue, G. Tanaka, O. Takai
  • 学会等名: The 12th Int. Symp. Biomimetic Materials Processing
  • 発表場所: Nagoya Univ
  • 年月日: 20120100
• [学会発表] 斜め堆積反応性蒸着法による窒化物薄膜のナノ微細構造制御 (2011)
  • 著者名/発表者名: 田中元樹, 大久保剣, 木村拓也, 井上泰志, 高井 治
  • 学会等名: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜情報文化センター
  • 年月日: 20111200
• [学会発表] 吸着誘起型エレクトロクロミック材料を用いた調光素子の開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 木村拓也, 大久保剣, 田中元樹, 井上泰志, 高井 治
  • 学会等名: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜情報文化センター
  • 年月日: 20111200
• [学会発表] InN のエレクトロクロミック特性の分極サイクル依存性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 大久保剣, 木村拓也, 田中元樹, 井上泰志, 高井 治
  • 学会等名: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜情報文化センター
  • 年月日: 20111200
• [学会発表] スパッタ堆積した窒化スズ薄膜の結晶相に対する基板角度の影響 (2011)
  • 著者名/発表者名: 細貝健史, 石附達也, 井上泰志, 高井 治
  • 学会等名: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜情報文化センター
  • 年月日: 20111200
• [学会発表] 反応性スパッタにより作製した酸化スズ薄膜の光学的および電気的特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 石附達也, 細貝健史, 井上泰志, 高井 治
  • 学会等名: 第21回日本 MRS 学術シンポジウム
  • 発表場所: 横浜情報文化センター
  • 年月日: 20111200
• [学会発表] ナノ微細構造化による薄膜材料の高機能化 (2011)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 表面技術協会関東支部合同講演・見学会
  • 発表場所: 神奈川県産業技術センター
  • 年月日: 20111200
• [学会発表] Control of Isolated Nanocolumnar Structure of Nitride Films by Glancing-angle Evaporation with Nitrogen Radical Source (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Hosogai, Y. Inoue, O. Takai
  • 学会等名: 15th Int. Conf. Thin Films
  • 発表場所: Kyoto TERRSA
  • 年月日: 20111100
• [学会発表] Discovery of Novel Electrochromic Oxide Materials Based on Adsorption-induced Mechanism (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Ishizuki, Y. Inoue, O. Takai
  • 学会等名: 15th Int. Conf. Thin Films
  • 発表場所: Kyoto TERRSA
  • 年月日: 20111100
• [学会発表] Mechanism of Adsorptioninduced Electrochromism in Nitride Thin Films (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Inoue, O. Takai
  • 学会等名: 15th Int. Conf. Thin Films
  • 発表場所: Kyoto TERRSA
  • 年月日: 20111100
• [学会発表] 斜め堆積スパッタ膜の微細構造に対する表面吸着ポテンシャルの影響 (2011)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,高井 治
  • 学会等名: 第55回日本学術会議材料工学連合講演会
  • 発表場所: 京都教育文化センター
  • 年月日: 20111000
• [学会発表] Cyclic Deterioration of Electrochromic Indium-nitride Films Deposited by Reactive Evaporation (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Inoue, O. Takai
  • 学会等名: 12th IUMRS Int. Conf. in Asia 2011
  • 発表場所: TWTC Nangang, Taipei
  • 年月日: 20110900
• [学会発表] Controllability of nanocolumnar structures in reactive sputtering with glancing-angle scheme (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Inoue, and O. Takai
  • 学会等名: The 11th Int. Symp. Sputtering & Plasma Processes 2011
  • 発表場所: Kyoto Research Park
  • 年月日: 20110700
• [図書] 光学薄膜 - 第25 節吸着誘起型エレクトロクロミック現象 (2013)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志,高井治
  • 出版者: 技術情報協会
• [図書] ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 - 第2 章 真空およびプラズマ (2013)
  • 著者名/発表者名: 井上泰志
  • 出版者: 表面技術協会
• [備考]
  • URL: http://home.att.ne.jp/surf/isil/ys/