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2010 年度 実績報告書

InGaSbおよびInGaAsの溶液成長における結晶面方位依存性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 22360316
研究機関独立行政法人宇宙航空研究開発機構

研究代表者

稲富 裕光  独立行政法人宇宙航空研究開発機構, 宇宙科学研究所・宇宙環境利用科学研究系, 准教授 (50249934)

研究分担者 早川 泰弘  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (00115453)
木下 恭一  独立行政法人宇宙航空研究開発機構, 宇宙科学研究所・宇宙環境利用科学研究系, 主幹研究員 (10358749)
キーワード結晶工学 / 結晶成長 / 応用光学・量子光工学 / 超精密計測 / 電子・電気材料
研究概要

今年度は、(1)強磁場用加熱炉の製作とGaSbバルク単結晶の育成、(2)磁場による対流抑制効果の数値計算、(3)成長縞導入の条件決定、(4)In_xGa_<1-x>Sbの熱物性値測定、を行った。
(1) 超伝導マグネット内に設置可能で、かつ6℃/cm程度の低い温度勾配を実現する強磁場用加熱炉を製作した。また面方位の異なるGaSbバルク単結晶を準備するために、回転引き上げ法を用いてGaSb(111)、(100)、(100)バルク単結晶育成を行なった。
(2) 数値流体力学ソフトウェアFIDAPを用いて磁場下での対流の抑制効果を計算した。その結果、6テスラでの最大流速は磁場無しでの条件での値に比べて強く抑制されることが明らかになった。また、加熱炉や試料カートリッジの形状を考慮した伝熱計算を行い、熱パルス法の温度条件を最適化した。
(3) TeドープInSbを溶液形成材とし、加熱炉のヒーター温度プログラムを最適化することで、InGaSbの成長結晶中に周期的かつ明瞭な不純物濃度縞を導入することに成功した。その結果、縞の形状から固液界面形状と界面位置、縞の間隔から成長速度、EPMAによる組成分布解析から縞近傍でのローカルな温度勾配を求められることを確認した。
(4) In_xGa_<1-x>Sb融液の蒸発速度、粘性の温度依存性を融点から1100℃の間で測定した。また、同融液に対する石英、BN、カーボン及びC-103合金に対する濡れ性の変化を温度の関数として求めた。これらの値は従来報告されていないものであった。

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2011 2010

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (10件)

  • [雑誌論文] Growth of Sil-xGex bulk crystals with highly homogeneous composition for thermoelectric applications2011

    • 著者名/発表者名
      M.Arivanandhan
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 318 ページ: 324-327

    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-situ observations of dissolution process of GaSb into InSb melt by X-ray penetration method2010

    • 著者名/発表者名
      G.Rajesh
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: Vol.312 ページ: 2677-2682

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Gravity on the Growth of Ternary Alloy Semiconductor Bulk Crystals2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Hayakawa
    • 雑誌名

      AIP Conference Pmoeedings

      巻: Vol.1313 ページ: 45-49

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Gravity on the Growth of Ternary Alloy Semiconductor Bulk Crystals2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Hayakawa
    • 雑誌名

      Proceeding of 22nd International Conference on Indium Phoaphide and Related Materails

      ページ: 68-73

    • 査読あり
  • [学会発表] バルク結晶成長機構WG活動報告2011

    • 著者名/発表者名
      稲富裕光
    • 学会等名
      第27回宇宙利用シンポジウム
    • 発表場所
      神奈川県相模原市
    • 年月日
      2011-01-24
  • [学会発表] SiGe結晶成長の地上準備実験2011

    • 著者名/発表者名
      木下恭一
    • 学会等名
      第27回宇宙利用シンポジウム
    • 発表場所
      神奈川県相模原市
    • 年月日
      2011-01-24
  • [学会発表] Experinnental and Numerical Investigation of the Dissolution Process of GaSb into InSb Melt2010

    • 著者名/発表者名
      G.Rajesh
    • 学会等名
      第17回応用物理学会東海支部基礎セミナー
    • 発表場所
      静岡県浜松市
    • 年月日
      2010-10-20
  • [学会発表] Effect of gravity on the dissolution process of GaSb into InSb melt2010

    • 著者名/発表者名
      G.Rajesh
    • 学会等名
      8th Japan-China-Korea Workshop, Microgravity Sciences for Asia Microgravity Pre-Sympoaium
    • 発表場所
      官城県仙台
    • 年月日
      2010-09-22
  • [学会発表] Crystal growth of InGaSb alloy semiconductor at International Space Station : preliminary experiments2010

    • 著者名/発表者名
      M.Arivanandhan
    • 学会等名
      8th Japan-China-Korea Workshop, Microgravity Sciences for Aaia Microgravity Pre-Symposium
    • 発表場所
      宮城県仙台
    • 年月日
      2010-09-22
  • [学会発表] Semiconductor Alloy Crystal Growth under Microgravity2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Hayakawa
    • 学会等名
      International Conference on Physics of Emerging Functional Materials
    • 発表場所
      Mumbai, India
    • 年月日
      2010-09-22
  • [学会発表] Selective Epitaxail Growth of GaAs on Star Patterned(100) GaAa Substrate2010

    • 著者名/発表者名
      D.Mouleeswara
    • 学会等名
      化学工学会第42回秋季大会
    • 発表場所
      長崎大学、長崎
    • 年月日
      2010-09-14
  • [学会発表] The Effect of Gravity on the Dissolution Process of GaSb into InSb Melt : Experiments and Simulations2010

    • 著者名/発表者名
      G.Rajesh
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学、長崎
    • 年月日
      2010-09-14
  • [学会発表] 微小重力環境下におけるInGasb混晶成長実験のための予備的研究2010

    • 著者名/発表者名
      鈴木那津輝
    • 学会等名
      化学工学会第42回秋季大会
    • 発表場所
      同志社大学、京都
    • 年月日
      2010-09-06
  • [学会発表] Growth of SiGe_x Bulk Crystals with Highly Homogeneous Composition for Thermoelectric Applications2010

    • 著者名/発表者名
      M.Arivanandhan
    • 学会等名
      The Sixteenth International Conference on Crystal Growth in Conjunction with The Fourteenth International Conference on Vapor Growth and Epitaxy
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2010-08-13

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公開日: 2012-07-19  

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