超臨界流体を利用したナノキャパシタ構造形成プロセスの構築

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22360329
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 反応工学・プロセスシステム
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 霜垣 幸浩 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (60192613)
• 研究分担者: 百瀬 健 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (10611163)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 超臨界流体 / 薄膜合成 / プロセス開発 / DRAM / FeRAM / 電極 / 高誘電体 / 強 誘電体

研究概要

超臨界二酸化炭素に有機金属を溶解させ,これを加熱された基板上にて反応させ,薄膜を形成する超臨界流体薄膜形成法(SupercriticalFluidDeposition,SCFD)を用い,超高集積化が進むDRAMやFeRAMなどのメモリデバイス用ナノキャパシタを形成するプロセスの開発を行った。電極材料としてのRu,Pt,SrRuO3,また,高誘電体・強誘電体材料としてのTiO2,SrTiO3,BiTiO3合成を検討し,従来良く用いられているCVDやALDプロセスと同等の段差被覆性を達成し,かつ,より低温での合成を可能とした。

研究成果

• [雑誌論文] Strontium ruthenium oxide deposition in supercritical carbon dioxide using a closed reactor system (2013)
  • 著者名/発表者名: Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
  • 雑誌名: J.Supercritical Fluid 巻: 79 ページ: 244-250
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ethanol-Assisted Flow-Type Supercritical Fluid Deposition of SrRuO3 for Stoichiometric Film Formation (2013)
  • 著者名/発表者名: Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose ,and Yukihiro Shimogaki
  • 雑誌名: ECS Solid State Letters 巻: 2 ページ: 70-P72
  • 査読あり
• [学会発表] Supercritical fluid deposition (SCFD) of crystallized TiO2 with alcohol assistance (2013)
  • 著者名/発表者名: Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
  • 学会等名: E-MRS Spring Conference 2013
  • 発表場所: Strasbourg, France.
  • 年月日: 20130500
• [学会発表] Conformal step coverage TiO2 deposition using supercritical CO2 (2013)
  • 著者名/発表者名: Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
  • 学会等名: Materials for Advanced Metallization 2013
  • 発表場所: Leuven, Bergium.
  • 年月日: 20130300
• [学会発表] Supercritical Fluid Deposition of Bismuth Titanate for Embedded FeRAM Applications (2012)
  • 著者名/発表者名: Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
  • 学会等名: Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science
  • 発表場所: Hawaii, USA.
  • 年月日: 20121000
• [学会発表] Deposition Mechanism of Metal Oxide for FeRAM Electrode using Flow Type Supercritical Fluid Deposition Reactor (2012)
  • 著者名/発表者名: Kyubong Jung, Yu Zhao, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
  • 学会等名: Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science
  • 発表場所: Hawaii, USA.
  • 年月日: 20121000
• [学会発表] Precursors Selection for TiO2 Thin Film Deposition in Supercritical CO2 (2012)
  • 著者名/発表者名: Yu Zhao, Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
  • 学会等名: International Union of Materials Research Societies- International Conference on Electronic Materials
  • 発表場所: Yokohama
  • 年月日: 20120900
• [学会発表] Low temperature process for Strontium Ruthenium Oxide in Supercritical Carbon Dioxide (2012)
  • 著者名/発表者名: Kyubong Jung, Takeshi Momose, and YukihiroShimogaki
  • 学会等名: 10th International Symposium on Supercritical Fluids
  • 発表場所: San Francisco, USA.
  • 年月日: 20120500
• [学会発表] Ru and Pt Films Fabrication for 3D Capacitor Electrodes Using Supercritical Fluid Deposition Technique (2011)
  • 著者名/発表者名: Kei Watanabe, Takeshi Momose, and YukihiroShimogaki
  • 学会等名: Advanced Metallization Conference 2011, Asian Session
  • 発表場所: Tokyo
  • 年月日: 20110900
• [学会発表] RuO2 Deposition Using Supercritical Fluid Deposition (SCFD) (2011)
  • 著者名/発表者名: Kyubong Jung, Takeshi Momose, and Yukihiro Shimogaki
  • 学会等名: Advanced Metallization Conference 2011, Asian Session
  • 発表場所: Tokyo
  • 年月日: 20110900
• [備考]
  • URL: http://www.dpe.mm.t.u-tokyo.ac.jp