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2010 年度 実績報告書

金属クラスター・ナノ薄膜/酸化物の界面の環境変調その場観察

研究課題

研究課題/領域番号 22510105
研究機関独立行政法人物質・材料研究機構

研究代表者

田中 美代子  独立行政法人物質・材料研究機構, 量子ドットセンター, 主幹研究員 (50354329)

キーワード電子顕微鏡 / 金属/酸化物 / 電子線加熱 / SrTi03 / 金属クラスター
研究概要

本研究では、金属クラスター・ナノ薄膜と酸化物の界面での酸素の挙動と界面構造や電子状態に与え影響を解明するため、透過電子顕微鏡内その場観察と走査トンネル顕微鏡観察を組み合わせ、超高真空から酸素分圧下、加熱や電圧印可等多彩な環境のもとで原子レベル観察を行い、界面構造の変化や挙動を解析することを目的としている。今年度は、電子顕微鏡用薄膜試料を種々の環境下で加熱する「電子ビーム加熱装置」及び「赤外線加熱装置」を導入し、酸化物基板(ノンドープ、或いはNbまたはLaドープのSrTi03(001))の表面状態の制御を行った。電子ビームの加速電圧やエミッション電流、フォーカスを変化させることにより、電子顕微鏡トランスペアレントの薄膜状態を保ちながら、表面コンタミネーションを除去し1x1または2x2の制御された表面状態を作製することができた。また<110>ファセット形成にはバッファードフッ酸処理が有効であった。この表面上にNi及びPd金属のクラスターを電子ビーム蒸着により作製し、プランビュー法及びプロファイル法により構造を評価した。数MLサイズのクラスターは、下地基板の格子定数に合わせて格子を変形させていたが、10MLサイズになるとエピタキシャルな成長が観察された。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2010

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] Magic Cluster Arrays of In/Ag Compound on Si(111)-7x7 studied by UHV-TEM/STM2010

    • 著者名/発表者名
      M.Tanaka
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: 42 ページ: 1520-1523

    • 査読あり
  • [学会発表] Formation of In/Ag Compound Nano Clusters studied by UHV-TEM/STM2010

    • 著者名/発表者名
      M.Tanaka
    • 学会等名
      The 18^<th> International Vacuum Congress
    • 発表場所
      Beijing International Convention Center(中国)
    • 年月日
      2010-08-25
  • [学会発表] Adhesion of Ag Atoms to In Surface Magic Clusters on Si(111)-7x7 Studied by UHV-TEM/STM2010

    • 著者名/発表者名
      M.Tanaka
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials
    • 発表場所
      つくば国際会議場(つくば)
    • 年月日
      2010-07-25
  • [学会発表] Si(111)-7x7上In表面マジッククラスターへのAgの選択配列2010

    • 著者名/発表者名
      田中美代子
    • 学会等名
      第66回日本顕微鏡学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(名古屋)
    • 年月日
      2010-05-25

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公開日: 2012-07-19  

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