| 研究課題/領域番号 |
22540320
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| 研究機関 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 |
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研究代表者 |
武田 泰弘 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 加速器研究施設, 技師 (70391745)
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| 研究分担者 |
菅井 勲 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 加速器研究施設, ダイヤモンドフェロー (80150291)
入江 吉郎 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 加速器研究施設, 教授 (00124173)
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| キーワード | 表面・界面物性 / ビーム損傷 / 放射線環境 / 量子ビーム照射 / 高分解能観察 / 荷電変換フォイル |
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| 研究概要 |
平成22年度に10um以下の高分解能を目指して詳細な光学計算を行いながら光学設計を行い、光学実験を行いながら機器の製作を行った。
この設計コンセプトは次のように定めた。1)光学部品精度をレイリーリミット以下の高精度仕様とする、2)硝材、反射コート膜に最適材を用いる。光学部品への負荷を最小にとどめる機構の採用、3)外部からの熱などの画像への影響を除外するため、光路内は常温、常圧、気密仕様とする、4)最先端技術を取り入れた光学設計、研磨法の採用、5)残留放射線に強いチタン、SUSを使用する、6)可能箇所の自動化、7)設計変更にも柔軟に対応できる設計構造
このコンセプトを元に、次の2つの観察方式の設計に成功した。1)バローレンズ型拡大光学系、2)コリメート拡大光学系
両案の比較は実際に疑似光学光路を製作し、分解能などや機器取り扱いの比較を行った。結果、コリメート拡大方式は任意に倍率が設定できるなど柔軟性が高く、また、分解能も非常に良いことから当方式を採用した。
10um以下の高分解能観察では、ピントの調整など非常に精巧な制御が求められる。実機では、ズーミングも付加したため、ピントと合わせて精密調整が出来るよう工夫し、設計、製作した。
今後は、仮光路を製作し、分解能や色収差など光学性能試験を行っていく予定である。
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