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2013 年度 実績報告書

Si,Ge表面反転層サブバンド構造の異方性と歪みによる物性制御

研究課題

研究課題/領域番号 22540332
研究機関琉球大学

研究代表者

稲岡 毅  琉球大学, 理学部, 教授 (40184709)

研究分担者 柳澤 将  琉球大学, 理学部, 助教 (10403007)
武田 さくら  奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教 (30314537)
研究期間 (年度) 2010-04-01 – 2014-03-31
キーワードSi, Ge / バンド / 異方性 / 歪み / 表面反転層 / 表面・界面物性 / 半導体物性
研究概要

第一原理計算により、Siの結晶単位胞内での2つの原子の相対変位、すなわち内部歪みが歪みSiの価電子帯構造に及ぼす効果を解析した。1軸圧縮の歪み方向、あるいは2軸伸張の歪みと垂直の方向([111]あるいは[110])では、ホール有効質量m*が著しく小さい価電子帯が他の価電子帯の上に突き出す分散が現れる。内部歪みを考慮して安定な原子配置を求めると、上記のm*の小さい第1価電子帯と第2価電子帯のエネルギー間隔が顕著に広がり、m*の小さいバンドが低エネルギー側に伸びて、高いホール移動度が期待される。
第一原理計算により、内部歪みを考慮して、伸張歪みにより起こるGeの間接-直接バンドギャップ転移を解析した。室温での[001]、[111]方向1軸伸張では、それぞれ歪み量4.2%、3.7%で、(001)、(110)面内2軸伸張では、それぞれ歪み量1.5%、2.3%で転移が起こる。[110]方向1軸、(111)面内2軸伸張では転移は起こらない。
SiGe上に成長した2軸伸張Siの価電子帯の分散を測定して解析し、Si結晶単位胞の一様な歪みだけなく、内部歪みを考慮して解析していく必要があることがわかった。
Ge(001)清浄表面及び鉛吸着表面の表面近傍の価電子帯バンド分散を角度分解光電子分光で明らかにした。清浄面で価電子帯頂上付近に現れる3本のバンドは、Geのバルクバンドに由来すると考えられる。鉛吸着面では新たにもう1本のバンドが現れ、上述の3本のバンドとバンド反発を起こす。4本目のバンドは、鉛由来ではなく、表面近傍のGe層に存在することがわかった。
その他、半導体サブバンド、有機半導体と関連して、有限温度交換・相関補正を用いて極低密度の強相関2次元伝導電子系のプラズモンを、ファン・デル・ワールス相互作用を考慮した第一原理計算により、alpha型亜鉛フタロシアニン結晶のバンド構造を解析した。

現在までの達成度 (区分)
理由

25年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

25年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (20件)

すべて 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (15件)

  • [雑誌論文] Internal-strain effect on the valence band of strained silicon and its correlation with the bond angles2014

    • 著者名/発表者名
      T. Inaoka, S. Yanagisawa, and Y. Kadekawa
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: Vol.115, 063702 ページ: 14

    • DOI

      10.1063/1.4864217

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Lattice distortion of porous Si by Li absorption using two-dimensional photoelectron diffraction2014

    • 著者名/発表者名
      E. S. A. Nouh, S. N. Takeda, F. Matsui, K. Hattori, T. Sakata, N. Maejima, H. Matsui, H. Matsuda, T. Matsushita, L. Tóth, M. Morita, S. Kitagawa, R. Ishii, M. Fujita, K. Yasuda, and H. Daimon
    • 雑誌名

      Journal of Materials Science

      巻: 49 ページ: 35-42

    • DOI

      10.1007/s10853-013-7799-2

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Exchange-correlation and temperature effects on plasmons in strongly-correlated two-dimensional electron systems: Finite-temperature local-field-correction theory combined with angle-resolved Raman spectroscopy2014

    • 著者名/発表者名
      T. Inaoka, Y. Sugiyama, and K. Sato
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi B

      巻: 251 ページ: 980-990

    • DOI

      10.1002/pssb.201350147

    • 査読あり
  • [雑誌論文] System to measure accurate temperature dependence of electric conductivity down to 20 K in ultrahigh vacuum2013

    • 著者名/発表者名
      C. Sakai, S. N. Takeda, and H. Daimon
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 84, 075103 ページ: 6

    • DOI

      10.1063/1.4812336

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anisotropy of the silicon valence band induced by strain with various orientations2013

    • 著者名/発表者名
      T. Inaoka, Y. Kinjyo, S. Yanagisawa, and K. Tomori
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: Vol.113, 183718 ページ: 13

    • DOI

      10.1063/1.4804412

    • 査読あり
  • [学会発表] Electronic structure on Pb-adsorbed Ge(001)2014

    • 著者名/発表者名
      T. Sakata, S. N. Takeda, A. K. R. Ang, K. Kitagawa, H. Kumeda, K. Kokui, H. Nakao, K. Takeuchi, H. Momono, K. Maeda, H. Daimon
    • 学会等名
      Symposium on Surface and Nano Science 2014
    • 発表場所
      新富良野プリンスホテル、北海道富良野市
    • 年月日
      2014-01-16
  • [学会発表] Effect of indium deposition on the hole subband of Si (111) surface

    • 著者名/発表者名
      N. I. Ayob, S. N. Takeda, M. Morita, T. Sakata, and H. Daimon
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRS Joint Symposia
    • 発表場所
      同志社大学、京都府京田辺市
  • [学会発表] 角度分解光電子分光によるPb吸着Ge(001)表面におけるバンド分散構造の観察

    • 著者名/発表者名
      坂田智裕,武田さくら,山谷寛,ヌルイダユ,北川幸祐,久米田晴香,小久井一樹,大門寛
    • 学会等名
      日本物理学会2013年秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学、徳島市
  • [学会発表] シリコン価電子帯に及ぼす内部歪みの効果

    • 著者名/発表者名
      稲岡毅、柳澤将,嘉手川千央
    • 学会等名
      日本物理学会2013年秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学、徳島市
  • [学会発表] STM探針下における局在表面プラズモンと振動の結合機構

    • 著者名/発表者名
      稲岡毅、上原洋一
    • 学会等名
      日本物理学会2013年秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学、徳島市
  • [学会発表] 超薄膜Silicon on Insulator(SOI)の表面構造と電子状態

    • 著者名/発表者名
      小久井一樹,武田さくら,坂田智裕,北川幸祐,久米田晴香,大門寛
    • 学会等名
      日本物理学会2013年秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学、徳島市
  • [学会発表] 歪み量測定用 UHVラマン装置の構築

    • 著者名/発表者名
      久米田晴香,武田さくら,坂田智裕,北川幸祐,小久井一樹, 竹内克行 ,中尾敏臣 ,前田昂平,桃野浩樹,大門 寛
    • 学会等名
      2013年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場、つくば市
  • [学会発表] Si(001)上Bi薄膜における表面電子状態の膜厚依存性

    • 著者名/発表者名
      北川幸祐、武田さくら、森田誠、坂田智裕、久米田晴香、小久井一樹、竹内克行、中尾敏臣、前田昂平、桃野浩樹、大門寛
    • 学会等名
      関西薄膜・表面物理セミナー
    • 発表場所
      グリーンビレッジ交野、交野市、大阪府
  • [学会発表] シリコン価電子帯に及ぼす内部歪みの効果-結合角との相関

    • 著者名/発表者名
      稲岡毅、柳澤将,嘉手川千央
    • 学会等名
      第13回琉球物性研究会
    • 発表場所
      琉球大学、沖縄県西原町
  • [学会発表] 亜鉛フタロシアニン結晶の電子状態に関する理論的研究: 結晶構造・バンド構造に対する分散力の影響

    • 著者名/発表者名
      柳澤将,稲岡毅,山内邦彦,小口多美夫,濱田幾太郎
    • 学会等名
      第13回琉球物性研究会
    • 発表場所
      琉球大学、沖縄県西原町
  • [学会発表] Raman spectroscopy on uni-axially strained silicon

    • 著者名/発表者名
      S. N. Takeda, H. Kumeda, K. Maeda, H. Momono, K. Takeuchi, H. Nakao, K. Kitagawa, T. Sakata, A. K. R. Ang, H. Daimon
    • 学会等名
      Symposium on Surface and Nano Science 2014
    • 発表場所
      新富良野プリンスホテル、北海道富良野市
  • [学会発表] 高分解能角度分解光電子分光法によるGe(100)表面近傍のバンド構造の解明

    • 著者名/発表者名
      坂田智裕、武田さくら、A. K. R. Ang、北川幸佑、久米田晴香、小久井一樹、竹内克行、中尾敏臣、桃野浩樹、前田昂平、大門寛
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会-材料・プロセス・評価の物理-(第19回)
    • 発表場所
      ニューウェルシティ湯河原、神奈川県熱海市
  • [学会発表] Silicon on Insulator の超薄膜化プロセス、電子状態測定への試み

    • 著者名/発表者名
      小久井一樹、武田さくら、坂田智裕、A. K. R. Ang、竹内克行、中尾敏臣、前田昂平、桃野浩樹、北川幸佑、久米田晴香、大門寛、堀田昌宏、菱谷大輔、佐野泰久
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会-材料・プロセス・評価の物理-(第19回)
    • 発表場所
      ニューウェルシティ湯河原、神奈川県熱海市
  • [学会発表] 亜鉛フタロシアニン結晶の電子状態の理論的研究: 結晶構造・バンド構造に対する分散力の影響

    • 著者名/発表者名
      柳澤将,稲岡毅,山内邦彦,小口多美夫,濱田幾太郎
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス、神奈川県相模原市
  • [学会発表] 伸長歪みによるGeの間接-直接バンドギャップ転移

    • 著者名/発表者名
      稲岡毅,古川琢朗,當間涼,柳澤将
    • 学会等名
      日本物理学会 第69回年次大会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス、神奈川県平塚市

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公開日: 2015-05-28  

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