研究課題
基盤研究(C)
大電力パルスマグネトロンスパッタ(HPPMS)の放電特性解明 を主目的に電圧電流密度特性や発光スペクトルを詳しく調べた結果、HPPMSは異常グローモードで動作しており、放電領域が陰極全面に広がり、電子閉じ込めが悪化していることで電圧が顕著に上昇していることがわかった。また、新規な高密度金属イオン源として、プラズマドリフトを用いて磁場を横切ってイオンを引き出す不均一ペニングスパッタ装置を考案した。
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Surf. Coat. Technol
巻: 206 ページ: 929-933
doi:10.1016/j.surfcoat.2011.04.041
巻: 204 ページ: 2881-2891
doi:10.1016/j.surfcoat.2010.03.004