研究課題
基盤研究(C)
アークプラズマガン(APG)を用いてCo微粒子を基板上に島状に成膜した。その後、大気中での成膜が可能な有機金属塗布熱分解(MOD)法を用いてMgO薄膜を作製することで2層構造とした。その結果、APGの放電パルス数500pulsesにおいて作製したCo微粒子上MgO薄膜の結晶性が向上し、光電子放出量が3倍以上となった。また、基板表面にCo微粒子のみを500パルス成膜した試料の透過率が30%以下であったが、MgO薄膜を堆積後、熱処理900度にてCo微粒子をMgO薄膜内に拡散させることで、透過率が90%を超える高透明膜に変化することも確認した。
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