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2012 年度 実績報告書

電子ビーム照射による試料帯電の広範囲ナノメートル分解能・リアルタイム計測技術開発

研究課題

研究課題/領域番号 22560026
研究機関大阪工業大学

研究代表者

小寺 正敏  大阪工業大学, 工学部, 教授 (40170279)

研究期間 (年度) 2010-04-01 – 2013-03-31
キーワード電子ビーム機器 / 試料帯電 / 電位分布 / 静電気力顕微鏡法 / 加速電圧依存性 / 電子散乱のシミュレーション / フォギング電子
研究概要

本研究では、電子ビーム照射による絶縁物試料表面の帯電電位の測定を行うことができる静電気力顕微鏡システムを完成した。当初の予定通り、表面電位を測定するのに零位法を用いて、測定プローブのたわみを圧電素子で感知し、圧電ひずみ抵抗の変化をブリッジ回路で検出した。表面電位を相殺する電圧を試料裏面に印加することでプローブが最も試料表面から離れることを利用して10mV程度の精度で数mmの範囲の表面電位分布を測定することに成功した。また、空間分解能として約50μm程度の分解能が得られた。
この静電気力顕微鏡システムを用いて、フォトマスク試料に電子ビームを照射した場合に加速電圧が1kV以下の時には正帯電、1~3kVの時には-50Vに達する大きな負帯電、3~10kVの時には正帯電する様子を世界で初めて計測することができた。さらに、広範囲表面電位分布測定を行うことにより高加速電圧の際には表面電位分布は単純な凸型分布ではなくW型の分布となることが初めて計測できた。表面電位の二次元分布測定では帯電電位の時間変化を補償する方法を確立し、対称性の良い二次元分布を求めることが可能となった。電位分布がW型となることに関して従来はモデルとしてのみ存在し説明されてきたがそれを実証する装置は存在しなかった。本装置の開発によってその定量値を得ることができ、実証することができた。
一方でこのような電位分布が現れる原因について電子散乱のシミュレーションを行い、試料内での電子電荷蓄積だけでなく試料表面から放出された反射電子が、対向する対物レンズ底の金属面との間で多重散乱するフォギング電子の影響を見積もった。上記W型の電位分布の原因として試料内の電子ビーム誘起導電現象とフォギング電子の影響をそれぞれ定量的に示すことができた。

現在までの達成度 (区分)
理由

24年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

24年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (10件)

すべて その他

すべて 学会発表 (7件) 備考 (3件)

  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内フォギング電子が形成する絶縁体薄膜表面電位分布の測定2

    • 著者名/発表者名
      大谷 優,長田 明,小原康寛,小寺正敏
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学、愛媛
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡におけるフォギング電子電流の測定とシミュレーション(II)

    • 著者名/発表者名
      小原康寛,大谷 優,長田 明,小寺正敏
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学、愛媛
  • [学会発表] モンテカルロ法と帯電解析への応用

    • 著者名/発表者名
      小寺正敏
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 SEMの物理科学研究部会 合宿討論会
    • 発表場所
      日本電子 山中湖保養所ジュラク荘、山梨
  • [学会発表] 絶縁物試料の表面電位計測と理論解析

    • 著者名/発表者名
      小寺正敏
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 SEMの物理科学研究部会 講演会
    • 発表場所
      常翔学園大阪センター、大阪
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡におけるフォギング電子電流の測定とシミュレーション(III)

    • 著者名/発表者名
      小原康寛,大谷 優,長田 明,小寺正敏
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内における電子ビーム照射による絶縁体薄膜表面電位分布の測定

    • 著者名/発表者名
      大谷 優,長田 明,小原康寛,熊谷健太朗,小寺正敏
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川
  • [学会発表] 電子ビーム照射を受けた絶縁体薄膜の放電特性

    • 著者名/発表者名
      熊谷健太朗,大谷 優,小原康寛,小寺正敏
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川
  • [備考] 学術雑誌発表論文

    • URL

      http://www.oit.ac.jp/elc/~kotera/paper/paper.html

  • [備考] 最近の国際会議発表

    • URL

      http://www.oit.ac.jp/elc/~kotera/paper/international.html

  • [備考] 最近の国内会議発表

    • URL

      http://www.oit.ac.jp/elc/~kotera/paper/domestic.html

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公開日: 2014-07-24  

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