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2012 年度 研究成果報告書

電子ビーム照射による試料帯電の広範囲ナノメートル分解能・リアルタイム計測技術開発

研究課題

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研究課題/領域番号 22560026
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関大阪工業大学

研究代表者

小寺 正敏  大阪工業大学, 工学部, 教授 (40170279)

研究期間 (年度) 2010 – 2012
キーワード電子顕微鏡 / 帯電電荷計測 / 静電気力顕微鏡法 / EBIC / フォギング電子
研究概要

電子ビーム照射による絶縁物表面の帯電電位の測定を行うことができる静電気力顕微鏡システムを完成した。高分子の絶縁体薄膜が導電基板上に形成されているフォトマスク試料に電子ビームを照射したときに得られる絶縁体薄膜表面の電位分布は加速電圧やビーム電流によって大きく変化することが示された。一方、試料内・外での電子散乱のシミュレーションを開発し試料表面の電位分布の実験結果を説明できる結果を得た。

  • 研究成果

    (28件)

すべて 2013 2012 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (24件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Measurement of surface potential of insulating film on a conductive substrate in a scanning electron microscope specimen chamber2011

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Kotera, Akira Osada, Masaru Otani , Yasuhiro Ohara
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology

      巻: B 29(6) ページ: 06F316-1-06F316-6

    • DOI

      DOI:10.1116/1.3662079

    • 査読あり
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡におけるフォギング電子電流の測定とシミュレーション(III)2013

    • 著者名/発表者名
      小原康寛,大谷優,長田明,小寺正敏
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-30
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内における電子ビーム照射による絶縁体薄膜表面電位分布の測定2013

    • 著者名/発表者名
      大谷優,長田明,小原康寛,熊谷健太朗,小寺正敏
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-30
  • [学会発表] 電子ビーム照射を受けた絶縁体薄膜の放電特性2013

    • 著者名/発表者名
      熊谷健太朗,大谷優,小原康寛,小寺正敏
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-30
  • [学会発表] 絶縁物試料の表面電位計測と理論解析2012

    • 著者名/発表者名
      小寺正敏
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会SEMの物理科学研究部会講演会
    • 発表場所
      常翔学園大阪センター
    • 年月日
      2012-11-29
  • [学会発表] Electron Beam Current Dependence of Surface Potential Distribution at a Resist Film2012

    • 著者名/発表者名
      Akira Osada, Masaru Otani, KentaroKumagai and Masatoshi Kotera
    • 学会等名
      2012 International Microprocesses andNanotechnology Conference
    • 発表場所
      神戸メリ ケンパークオリエンタルホテル
    • 年月日
      2012-11-01
  • [学会発表] モンテカルロ法と帯電解析への応用2012

    • 著者名/発表者名
      小寺正敏
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会SEMの物理科学研究部会合宿討論会
    • 発表場所
      山梨山中湖ジュラク荘
    • 年月日
      2012-10-13
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内フォギング電子が形成する絶縁体薄膜表面電位分布の測定22012

    • 著者名/発表者名
      大谷優,長田明,小原康寛,小寺正敏
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2012-09-14
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡におけるフォギング電子電流の測定とシミュレーション(II)2012

    • 著者名/発表者名
      小原康寛,大谷優,長田明,小寺正敏
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2012-09-14
  • [学会発表] Measurement of fogging electron current in scanning electron microscope2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Ohara, Akira Osada, MasaruOtani and Masatoshi Kotera
    • 学会等名
      The 56th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication 2012,(EIPBN 2012)
    • 発表場所
      Hilton Waikoloa Village Resort in Waikoloa, Hawaii, USA
    • 年月日
      2012-05-31
  • [学会発表] Measurement of Surface Potential Distribution at an Insulating Film Produced by Fogging Electrons in a Scanning Electron Microscope2012

    • 著者名/発表者名
      Masaru Otani, Akira Osada, YasuhiroOhara and Masatoshi Kotera
    • 学会等名
      The 56th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication2012,(EIPBN 2012)
    • 発表場所
      Hilton WaikoloaVillage Resort in Waikoloa, Hawaii, USA
    • 年月日
      2012-05-31
  • [学会発表] Charging process simulation of a resist film on Si substrate under electron beam irradiation2012

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Kotera, Akira Osada, MasaruOtani and Yasuhiro Ohara
    • 学会等名
      The 56th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication2012,(EIPBN 2012)
    • 発表場所
      Hilton WaikoloaVillage Resort in Waikoloa, Hawaii, USA
    • 年月日
      2012-05-30
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内フォギング電子が形成する絶縁体薄膜表面電位分布の測定2012

    • 著者名/発表者名
      大谷優,長田明,小原康寛,小寺正敏
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-16
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内の絶縁体薄膜表面電位分布のビーム電流依存性2012

    • 著者名/発表者名
      長田明,大谷優,小原康寛,小寺正敏
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-16
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡におけるフォギング電子電流の測定とシミュレーション2012

    • 著者名/発表者名
      小原康寛,大谷優,長田明,小寺正敏
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-16
  • [学会発表] Measurement of surface potential distribution of resist irradiated by fogging electrons2011

    • 著者名/発表者名
      Akira Osada, Masaru Otani, YasuhiroOhara and Masatoshi Kotera
    • 学会等名
      2011 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      京都全日空ホテル
    • 年月日
      2011-10-26
  • [学会発表] Measurement of surface potential distribution of a resist film irradiated by electron beam2011

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Kotera, Akira Osada, MasaruOtani and Yasuhiro Ohara
    • 学会等名
      37th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE 2011)
    • 発表場所
      The bcc Berliner Congress Center Berlin, Germany
    • 年月日
      2011-09-20
  • [学会発表] Charging process simulation of a resist film on Si substrate by electron beam irradiation2011

    • 著者名/発表者名
      Akira Osada, Masatoshi Kotera, MasaruOtani and Yasuhiro Ohara
    • 学会等名
      37th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE 2011)
    • 発表場所
      The bcc Berliner Congress Center Berlin, Germany
    • 年月日
      2011-09-20
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内における絶縁体薄膜の表面電位分布測定2011

    • 著者名/発表者名
      長田明、小寺正敏
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-08-30
  • [学会発表] 静電気力顕微鏡法による走査電子顕微鏡内の試料帯電の計測2011

    • 著者名/発表者名
      小寺正敏、長田明、大谷優、小原康寛
    • 学会等名
      NGL2011
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2011-07-12
  • [学会発表] Measurement of Surface Potential of Insulating Film on Conductive Substrate in a Scanning Electron Microscope2011

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Kotera, Akira Osada, TakeshiKawamura and Kazuhito Arita
    • 学会等名
      55th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2011)
    • 発表場所
      JW Marriott Resort Las Vegas, USA
    • 年月日
      2011-06-30
  • [学会発表] 走査電子顕微鏡内における絶縁体薄膜の表面電位分布測定2011

    • 著者名/発表者名
      長田明、小寺正敏
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第67回学術講演会
    • 発表場所
      福岡国際会議場
    • 年月日
      2011-05-16
  • [学会発表] Measurement of a surface potential of insulating materials in a scanning electron microscope2010

    • 著者名/発表者名
      Akira Osada, Masatoshi Kotera, Takeshi Kawamura and Kazuhito Arita
    • 学会等名
      2010 International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      リーガロイヤルホテル小倉
    • 年月日
      2010-11-12
  • [学会発表] Surface potential measurement of insulating materials in a scanning electron microscope2010

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi Kotera, Akira Osada, Takeshi Kawamura and Kazuhito Arita
    • 学会等名
      36th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE 2010)
    • 発表場所
      Magazzini del Cotone Genoa, Italy
    • 年月日
      2010-09-21
  • [学会発表] 電子ビーム照射に伴う絶縁体帯電現象解析のためのシミュレーション高速化2010

    • 著者名/発表者名
      小寺正敏、長田明
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-07
  • [備考] 学術雑誌発表論文

    • URL

      http://www.oit.ac.jp/elc/?kotera/paper/paper.html

  • [備考] 最近の国際会議発表

    • URL

      http://www.oit.ac.jp/elc/?kotera/paper/international.html

  • [備考] 最近の国内会議発表

    • URL

      http://www.oit.ac.jp/elc/?kotera/paper/domestic.html

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公開日: 2014-08-29  

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