2012 年度研究成果報告書

高濃度不純物添加酸化亜鉛膜の光伝導の機構解明

研究課題

研究課題/領域番号	22560027
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	薄膜・表面界面物性
研究機関	高知工業高等専門学校
研究代表者	岸本誠一高知工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (90177816)
研究期間 (年度)	2010 – 2012
キーワード	酸化亜鉛 / 薄膜 / 光伝導度 / 紫外線
研究概要	無添加ZnO 膜とガリウム添加ZnO 膜に対してXRD 測定、Hall 測定によるキャリア濃度と移動度、光伝導度スペクトル、および光吸収スペクトルを測定し、光伝導度やその応答性に関与する要因と考えている結晶子の粒界の影響、膜表面の界面準位の影響を検討した。光伝導度は、結晶粒が大きく影響し、応答性においてこの結晶性の影響を受け、結晶性を改善することで向上することを示した。