2012 年度研究成果報告書

TEM-マイクロカロリメータEDSによる高精度分析の実現と金属材料

研究課題

研究課題/領域番号	22560028
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	薄膜・表面界面物性
研究機関	独立行政法人物質・材料研究機構
研究代表者	原徹独立行政法人物質・材料研究機構, 表界面構造・物性ユニット, 主幹研究員 (70238161)
研究期間 (年度)	2010 – 2012
キーワード	電子顕微鏡 / 金属組織 / X線分光
研究概要	我々は透過型電子顕微鏡(TEM)でのエネルギー分散型X線分光(EDS)分析の高精度化を目的として、超伝導遷移端型マイクロカロリメータX線検出器を応用したTEM-EDS分析システムを開発してきた。本課題では、本装置を実用的な分析に供するための解析基盤技術の検討を実施するとともに、複雑な組織・組成を持つ金属材料への応用に展開し、偏析や析出などの微小な組成変動を高感度かつ高精度に分析する手法を構築した。