研究課題
基盤研究(C)
本研究はガス分子の透過を妨げるガスバリア膜を用い,100-200℃程度の環境におけるガスケット用ゴムシートの熱酸化劣化の抑制手法を検討したものである.検討の結果, Si-O-N 系ガスバリア膜を適切な厚さで被覆することにより, 170℃, 24 時間の加熱条件においても熱酸化劣化を抑制できることを明らかにした.また,ガスバリア膜が外力によって損傷を受けてもガスバリア性が維持できることも明らかにした.
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Conference Series
巻: Vol. 6 ページ: 413-418
DOI:10.1142/S2010194512003534