ナノ構造化DLCコーティング膜の力学特性とそのMEMS応用

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560089
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 芝浦工業大学
• 研究代表者: 相澤 龍彦 芝浦工業大学, デザイン工学部, 教授 (10134660)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: DLC / ナノカラム構造化 / 自己組織化 / カラム間グラファイト化 / 電子ビーム / 異常弾性挙動 / カラム間選択ドーピング / 接触角制御

研究概要

PVDと電子ビーム照射によりナノカラム構造化DLC膜を作成し、そのナノ構造と異常な力学特性を明らかにした。AFMによる詳細な解析により、ナノカラム特性を調査し、それが表面接触角変化に与える影響を見出した。

研究成果

• [雑誌論文] CHARACTERIZATION OF CU-DOPED NANOCOLUMNAR DLC COATING. (2013)
  • 著者名/発表者名: Satoru Yukawa, Tatsuhiko Aizawa
  • 雑誌名: Proc. 7th SEATUC Conference ページ: 7-6
• [雑誌論文] Analysis of nano-columnar DLC thin Films by the Atomic Force Microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, Ryo Suenaga, Tatsuhiko Aizawa
  • 雑誌名: Proc. 7th SEATUC Conference ページ: 7-6
• [雑誌論文] Synthesis and characterization of doped and undoped nano-columnar DLC coating (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, Tatsuhiko Aizawa, Satoru Yukawa
  • 雑誌名: J. Tecknologi 巻: 62(1) ページ: 17-24
• [学会発表] Synthesis and characterization of copper doped nano-columnar DLC coating (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Yukawa, T. Aizawa
  • 学会等名: 7th SEATUC Conference
  • 発表場所: Bandung
  • 年月日: 20130306-07
• [学会発表] Analysis of nano-columnar DLC thin films by the atomic force microscopy (2013)
  • 著者名/発表者名: Foo Jin Hoe, R. Suenaga, T. Aizawa
  • 学会等名: 7th SEATUC Conference
  • 発表場所: Bandung
  • 年月日: 20130306-07
• [学会発表] Characterization of Cu doped nano-columnar DLC coating (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Yukawa, T. Aizawa
  • 学会等名: ICMCTF-2012
  • 発表場所: San Diego
  • 年月日: 20120427-0502
• [図書] 「アジアの経済発展と産業技術」第10章 (2013)
  • 著者名/発表者名: 相澤龍彦
  • 出版者: ナカニシヤ出版