| 研究課題/領域番号 |
22560109
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
中野 元博 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40164256)
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| 研究分担者 |
井上 晴行 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30304009)
押鐘 寧 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40263206)
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| 研究期間 (年度) |
2010 – 2012
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| キーワード | 精密位置決め / 加工計測 / PDI(Point Diffraction Interferometer) / 位相シフト干渉計 / 光ファイバ |
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| 研究概要 |
2 本のシングルモード光ファイバを点光源としたPS/PDI (Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer) は、光源位置の自由度が高いため、非球面量の大きいミラーであっても、結像光学系を用いずに計測対象の情報のみを含んだ干渉縞を生成できる。さらに、デジタルホログラフィによる波面解析を行うことによってミラー形状をより高精度に得ることができる。本報では、PS/PDI による非球面形状計測への応用として、平面ミラーを計測し、その精度について検討した。
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