大気圧グロー放電プラズマを利用した酸化亜鉛薄膜の高速大面積作製技術開発

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560113
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 香川大学
• 研究代表者: 須崎 嘉文 香川大学, 工学部, 教授 (60206456)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: ナノ・マイクロ加工 / 大気圧低温プラズマ / 成膜方法 / 酸化亜鉛

研究概要

液晶ディスプレィや太陽電池などに利用する透明導電性薄膜を大面積に安価に作製する方法が求められている。そこで我々は、大気圧開放下で低温プラズマを発生し、それを用いた成膜システムを開発した。酸化亜鉛薄膜を大面積に均一に作製することを目的とした。スリット幅を 100 mm に拡大した装置について、端から端までの均一成膜を完成し、大面積成膜について可能なことがわかった。成膜速度の向上については課題が残った。

研究成果

• [雑誌論文] Fabrication of Transparent Antifouling Thin Films with Fractal Structure by Atmospheric Pressure Cold Plasma Deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: Hayato Miyagawa 、 Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Langmuir 巻: Vol.28 ページ: 17585-17860
  • DOI: doi:10.1021/la303316w
• [雑誌論文] Fabrication of Al doped ZnO films using atmospheric pressure cold plasma (2012)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: Vol.522 ページ: 324-329
  • DOI: doi:10.1016/j.tsf.2012.09.016
• [雑誌論文] Effect of substrate temperature on ZnO thin film fabrication by using an atmospheric pressure cold plasma generator (2011)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Phisica Status Solidi 巻: Vol.C8 ページ: 503-505
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of ZnO Films Using Atmospheric Pressure Cold Plasma at Various Discharge Voltage (2011)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Frontier of Applied Plasma Technology 巻: Vol.4 ページ: 85-88
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of RF Power on the Fabrication of ZnO Films Using Open-Air Atmospheric Pressure Cold Plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Frontier of Applied Plasma Technology 巻: Vol.3 ページ: 97-101
  • 査読あり
• [雑誌論文] Optical Emission Spectroscopy of Atmospheric Pressure Cold Plasma and Fabrication of ZnO Films (2010)
  • 著者名/発表者名: Dong-Bum Shin 、 Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Frontier of Applied Plasma Technology 巻: Vol.3 ページ: 126-129
  • 査読あり
• [学会発表] 大気圧低温プラズマにより作製した AZO/ZnO 2 層膜の特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 宗清 修、須崎嘉文
  • 学会等名: 2012 年春季第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 早稲田大学
  • 年月日: 2012-03-27
• [学会発表] 光ファイバーを用いた電流センサの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 岩田 弘、須崎嘉文
  • 学会等名: 日本設計工学会四国支部平成 23 年度研究発表会
  • 発表場所: 徳島大学工学部
  • 年月日: 2012-03-22
• [学会発表] 大気圧低温プラズマ法により作製した ZnO:Al 膜における下地層の効果 (2011)
  • 著者名/発表者名: 奈良卓哉、須崎嘉文
  • 学会等名: 平成 23 年度電気関係学会四国支部連合大会
  • 発表場所: 阿南工業高等専門学校
  • 年月日: 2011-09-23
• [学会発表] Fabrication of ZnO Thin Films Using Atmospheric Pressure Helium Cold Plasma at Various Oxygen Flow Rates (2011)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The Japan-Thailand-Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011、招待講演
  • 発表場所: Nongkhai, Thailand)
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] Fabrication of Transparent Antifouling Thin Films Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Deposition System (2011)
  • 著者名/発表者名: Koji Yamauchi 、 Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The Japan-Thailand-Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011
  • 発表場所: (Nongkhai, Thailand)
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] Creep Test of a Strain Sensor Using Double-Layered Metalized Fiber Grating and Soldering (2011)
  • 著者名/発表者名: Masato Asada、Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The Japan-Thailand-Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011
  • 発表場所: (Nongkhai, Thailand)
  • 年月日: 2011-09-21
• [学会発表] Gd/Fe 磁性多層膜のライン周期構造の作製と磁区観察 (2011)
  • 著者名/発表者名: 吉岡裕司、須崎嘉文
  • 学会等名: 応用物理学会中国四国支部・日本物理学会四国支部・物理教育学会中国支部 2011年度学術講演会
  • 発表場所: 鳥取大学鳥取キャンパス
  • 年月日: 2011-07-30
• [学会発表] 大気圧低温プラズマ成膜装置を用いた透過性防汚膜の作製 (2011)
  • 著者名/発表者名: 山内康司、須崎嘉文
  • 学会等名: 日本材料学会四国支部第9回学術講演会
  • 発表場所: 徳島大学工学部
  • 年月日: 2011-06-25
• [学会発表] 二層薄膜メタライズドFBGの歪みセンサへの応用 (2011)
  • 著者名/発表者名: 浅田将人、須崎嘉文
  • 学会等名: 日本材料学会四国支部第9回学術講演会
  • 発表場所: 徳島大学工学部
  • 年月日: 2011-06-25
• [学会発表] Fabrication of ZnO films Using Atmospheric Pressure Cold Plasma at Various Discharge Voltages (2011)
  • 著者名/発表者名: Gi-Taek Kim 、 Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The 4th International Workshop on Plasma Application and Hybrid Functionally Materials
  • 発表場所: Victria University(Melbourne, Australia)
  • 年月日: 2011-03-12
• [学会発表] Fabrication of ZnO Films Using Atmospheric Pressure Cold Plasma at Various Substrate Temperatures (2011)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The 4th International Workshop on Plasma Application and Hybrid Functionally Materials
  • 発表場所: Victria University(Melbourne, Australia)
  • 年月日: 2011-03-12
• [学会発表] Optical Emission Spectroscopy of Atmospheric Cold Plasma and the Fabrication of ZnO Films (2010)
  • 著者名/発表者名: Dong-Bum Shin 、 Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The 1st Joint Workshop of Advanced Materials Science and Engineering between Kagawa University and Hanbat National University
  • 発表場所: 香川大学工学部(香川県)
  • 年月日: 2010-09-29
• [学会発表] Effect of Oxygen Flow Rate on Fabrication of ZnO Thin Films by Usingan Atmospheric Pressure Helium Cold Plasma (2010)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The 1st Joint Workshop ofAdvanced Materials Science and Engineering between Kagawa University and Hanbat National University
  • 発表場所: 香川大学工学部(香川県)
  • 年月日: 2010-09-29
• [学会発表] Effect of Substrate Temperature on ZnO Thin Film Deposition by Usingan Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator (2010)
  • 著者名/発表者名: Takehiko MURASE 、 Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The 1st Joint Workshop of Advanced Materials Science and Engineering between Kagawa University and Hanbat National University
  • 発表場所: 香川大学工学部(香川県)
  • 年月日: 2010-09-29
• [学会発表] Fabrication of ZnO:Al Thin Films by Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator (2010)
  • 著者名/発表者名: Akiou KAWAGUCHI 、 Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: The 1st Joint Workshop of Advanced Materials Science and Engineering between Kagawa University and Hanbat National University
  • 発表場所: 香川大学工学部(香川県)
  • 年月日: 2010-09-29
• [学会発表] Effect of substrate temperature on ZnO thin film fabrication by using an atmospheric pressure cold plasma generator (2010)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: the 37th International Symposium on Compound Semiconductors
  • 発表場所: 高松シンボルタワー国際会議場(香川県)
  • 年月日: 2010-06-04
• [備考]
  • URL: http://www.eng.kagawa-u.ac.jp/~suzaki/suzaki.html