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被加工材に対して超高圧を付加するために、塑性加工用のダイヤモンド製マイクロ金型を製作することを目的とし、超高圧を付加することが可能であるダイヤモンドアンビルのキュレット部に、集束イオンビーム加工観察装置（FIB）を用いて微細三次元キャビティー形状を加工し、この製作したダイヤモンド金型を使用して、無潤滑条件で大気中および真空中において金属箔に対しての塑性加工を行い、評価を行う。
製作したダイヤモンド金型を用いて高圧塑性加工を行った結果、外形寸法は大気中・真空中ともに同じ大きさであり良好に転写されたといえる。しかし、大気中において加工を行った塑性加工品は、金型内に空気が残留したことが原因と考えられ、転写が不十分であった。これに対し、真空中において塑性加工を行うことで、金型内の空気の残留を軽減することができ、転写性の良好な加工品を得ることができた。
また、高圧塑性加工を行ったアルミニウム箔において平均結晶粒径が数十 マイクロメートル以上あった結晶粒が1 マイクロメートル以下に微細化されていることが確認された。要因としては、高圧を付加することにより相当ひずみ4以上のひずみが発生したことで、強ひずみ加工と同様の条件となった為ではないかと考えられる。
さらに、超高圧を付加により結晶粒径が1マイクロメートル以下に微細化された試料を再結晶温度以上に加熱すると、塑性変形した形状を保ちつつ結晶粒径が10マイクロメートル程度に結晶粒が成長し、大きくなることを見いだすことができた。
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