|
本研究では、カーボンファイバーの穴あけ加工に必要とされるダイヤモンドコーテッド工具について、摩耗したダイヤモンド膜を効率的に除去するための大気圧プラズマトーチを開発してダイヤモンド膜の除去の可能性を検討した。その結果、2.54GHzのマイクロ波を用いた高密度大気圧プラズマ(1.2kW)を安定して長時間照射できるトーチを製作した。また、Arプラズマ中に酸素を添加することで、ダイヤモンド膜を効率良く除去できることを明らかにした。また、多結晶ダイヤモンドの除去に対して、粒界の選択的なエッチングや結晶方位依存性が認められないプラズマ条件を確立した。
|
