多点法による形状測定における誤差要因の解明と除去

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560130
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
• 研究代表者: 久米 達哉 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 機械工学センター, 研究機関講師 (40353362)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 形状測定 / 誤差伝播 / 多点法 / スティッチング / ゼロ点ずれ

研究概要

多点法による形状測定において、2 点法、3 点法、スティッチングによる導出形状に対する誤差見積り値と実験値との間に良好な一致が見られ、それらの妥当性が示された。また、従来の検討において問題とされた系統的な形状差が、測定位置に関わる誤差に起因する可能性が高いことが示された。さらに、3 点法に用いられる 3 つの変位計間のゼロ点ずれの変動を、変位計の持つ分解能と同程度の安定性で検出し、除去できることが実験的に示された。

研究成果

• [雑誌論文] Large-scale Accelerator Alignment Using an Inclinometer (2013)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, and K.Furukawa
  • 雑誌名: Precision Engineering, Accepted
  • URL: http://dx.doi.org/doi:10.1016/j.precisioneng.2013.03.009
  • 査読あり
• [雑誌論文] 多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討 (第3 報)-ゼロ点ずれ変動検出方法の改良- (2013)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野, 山中
  • 雑誌名: 2013 年度精密工学会春季大会予稿集 巻: N46
• [雑誌論文] Evaluation of the alignment for long linear accelerators using a level (2012)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, and K.Furukawa
  • 雑誌名: 第9回日本加速器学会年会 2012 予稿集 巻: WEPS130
• [雑誌論文] 大型対象物の形状測定における偶然誤差の蓄積 (2012)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 山中, 上野
  • 雑誌名: 2012 年度精密工学会春季大会予稿集 巻: F19
• [雑誌論文] 多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討-第2 報 ゼロ点ずれ変動監視機構の検討 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野
  • 雑誌名: 2011年度精密工学会秋季大会予稿集 巻: N69
• [雑誌論文] 水準器を用いた床面変動測定 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久米, 奥山, 佐藤, 諏訪田, 古川
  • 雑誌名: 第8回加速器学会年会予稿集 巻: MOPS156
• [雑誌論文] Error estimation for the stitched profile in straightness measurement (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, K.Enami, Y.Higashi, and K.Ueno
  • 雑誌名: euspen 2011 ページ: 2.45
• [雑誌論文] 多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討-繰返し性の無い変動をするゼロ点ずれの除去 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野
  • 雑誌名: 2011 年度精密工学会春季大会予稿集 巻: K06
• [雑誌論文] スティッチング法を用いた形状測定における誤差伝搬(第2 報)-誤差伝搬モデルの見直し (2010)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野
  • 雑誌名: 2010 年度精密工学会秋季大会予稿集 巻: H14
• [雑誌論文] Straightness evaluation for the KEK electron/positron linac using a level (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, K.Furukawa
  • 雑誌名: IWAA2010
• [雑誌論文] Long distance straightness measurement using a level (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, K.Furukawa
  • 雑誌名: ISMQC 2010 巻: F6
• [雑誌論文] 水準器を用いた KEK 入射器の真直度測定 (2010)
  • 著者名/発表者名: 久米, 奥山, 佐藤, 諏訪田, 古川
  • 雑誌名: 第7回加速器学会年会予稿集 巻: THPS121
• [雑誌論文] Straightness alignment of linac by detecting slope angle (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, K.Furukawa
  • 雑誌名: IPAC10, WEPEB055
• [学会発表] 多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討 (第3 報)-ゼロ点ずれ変動検出方法の改良- (2013)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野, 山中
  • 学会等名: 2013 年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東工大, 東京都目黒区
  • 年月日: 2013-03-14
• [学会発表] Straightness evaluation for the 206-m-long part of the KEK electron/positron linac using inclinometers (2012)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, and K.Furukawa
  • 学会等名: IWAA2012
  • 発表場所: Batavia, IL., USA
  • 年月日: 20120910-14
• [学会発表] Evaluation of the alignment for long linear accelerators using a level (2012)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, and K.Furukawa
  • 学会等名: 第9回日本加速器学会年会 2012, WEPS130
  • 発表場所: 大阪大, 豊中市
  • 年月日: 20120808-10
• [学会発表] 大型対象物の形状測定における偶然誤差の蓄積 (2012)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 山中, 上野
  • 学会等名: 2012 年度精密工学会春季大会, F19
  • 発表場所: 首都大, 八王子市
  • 年月日: 2012-03-14
• [学会発表] 多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討-第2 報 ゼロ点ずれ変動監視機構の検討 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会, N69
  • 発表場所: 金沢大, 金沢市
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] 水準器を用いた床面変動測定 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久米, 奥山, 佐藤, 諏訪田, 古川
  • 学会等名: 第8回日本加速器学会年会, MOPS156
  • 発表場所: つくば市
  • 年月日: 2011-09-01
• [学会発表] Error estimation for the stitched profile in straightness measurement (2011)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, K.Enami, Y.Higashi, and K.Ueno
  • 学会等名: euspen 2011
  • 発表場所: Como, Italy
  • 年月日: 2011-05-25
• [学会発表] 多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討-繰返し性の無い変動をするゼロ点ずれの除去 (2011)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野
  • 学会等名: 2011 年度精密工学会春季大会, K06
  • 発表場所: 東洋大, 東京都文京区
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] スティッチング法を用いた形状測定における誤差伝搬(第2 報)-誤差伝搬モデルの見直し (2010)
  • 著者名/発表者名: 久米, 江並, 東, 上野
  • 学会等名: 2010 年度精密工学会秋季大会, H14
  • 発表場所: 名古屋大, 名古屋市
  • 年月日: 2010-09-27
• [学会発表] Straightness evaluation for the KEK electron/positron linac using a level (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, K.Furukawa
  • 学会等名: IWAA2010
  • 発表場所: Hamburg, Germany
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] Long distance straightness measurement using a level (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, K.Furukawa
  • 学会等名: ISMQC 2010, F6
  • 発表場所: 大阪大, 吹田市
  • 年月日: 2010-09-08
• [学会発表] 水準器を用いた KEK 入射器の真直度測定 (2010)
  • 著者名/発表者名: 久米, 奥山, 佐藤, 諏訪田, 古川
  • 学会等名: 第7回日本加速器学会年会, THPS121
  • 発表場所: 姫路市
  • 年月日: 2010-08-05
• [学会発表] Straightness alignment of linac by detecting slope angle (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Kume, E.Okuyama, M.Satoh, T.Suwada, K.Furukawa
  • 学会等名: IPAC10, WEPEB055
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2010-05-25
• [産業財産権] 形状測定装置及び形状測定方法 (2013)
  • 発明者名: 久米 達哉
  • 権利者名: 高エネルギー加速器研究機構
  • 産業財産権番号: 特願 2013-001861
  • 出願年月日: 2013-01-09
• [産業財産権] 方向検出装置 (2010)
  • 発明者名: 久米 達哉
  • 権利者名: 高エネルギー加速器研究機構
  • 産業財産権番号: 特願 2010-105707(特開 2011-232309)
  • 出願年月日: 2010-04-30