研究課題
CWレーザーの高速スキャンによるナノ周期構造を作製する技術の研究である。シリコン基板表面を分速300mでスキャンすることで500nmから800nmの周期構造が自己成長することを確認した。当初は赤外線と可視光線の同時照射により、構造が自己成長していたが、可視光のみの場合や紫外線でもナノ構造成長の可能性を見いだした。紫外線を用いることで、ガラスなどの透明な材料への効率の良い微細加工が可能となる。また、レーザー照射による材料の温度上昇分布を有限要素により評価し、微細構造の自己成長には材料の溶融時間にしきい値があることを示した。しかし、紫外線を用いた場合は溶融しない照射条件でも微細構造が成長していることを確認した。成果の普及として論文雑以外に月刊誌と学協会誌にそれぞれ2本の紹介記事を掲載した。
24年度が最終年度であるため、記入しない。
すべて 2013 2012 その他
すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (4件) (うち招待講演 1件)
Optics and Laser and Engineering
巻: 51 ページ: 294-298
Laser Applications in Microelectronics and Optoelectronic Manufacturing
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レーザ加工学会誌
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