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2010 年度 実績報告書

ナノ・マイクロ・ダブル掘起しテクスチャによる高機能光触媒膜の開発

研究課題

研究課題/領域番号 22560134
研究機関茨城大学

研究代表者

清水 淳  茨城大学, 工学部, 准教授 (40292479)

研究分担者 周 立波  茨城大学, 工学部, 教授 (90235705)
小貫 哲平  茨城大学, 工学部, 准教授 (70400447)
尾嶌 裕隆  茨城大学, 工学部, 講師 (90375361)
山本 武幸  茨城大学, 工学部, 技術職員 (40396594)
キーワード掘起し / 引っかき / 光触媒 / 酸化チタン / 陽極酸化 / 振動
研究概要

本研究では,除菌や洗浄などへの応用展開が期待されている光触媒機能の格段の向上を実現するため,純チタン板のトライボ加工によって得られる,ナノ・マイクロ・ダブル掘起し表面テクスチャの陽極酸化による,バインダレス高機能光触媒膜を開発する.平成22年度は,所有の3軸加工機上で,ダイヤモンド圧子工具を用い,微小なサイン波を重畳させた軌跡を用いた引っかきにより,微小な溝と掘起しによる表面凹凸が無数に存在する表面テクスチャを純チタン板上に創成するため,次に示す内容について検討した.1)高周波微小振動工具ホルダの製作:ピエゾアクチュエータ駆動方式のFTS(Fast Tool Servo)によりミクロンないしサブミクロンレベルの振幅の振動を切込み深さ方向に付加して,深さおよび幅,掘起し高さの異なる引っかき溝創成のための微小振動切込み制御システムを導入したので,それを3軸加工機に固定するためのホルダを製作した.さらに,微小振動切込み制御システムを搭載し,動作の確認を行った.2)微小振動切込み制御プログラムの作成:工具の微小振動切込みをコンピュータ制御するためのプログラムを作成し,数条件の微小振動について動作を確認した.3)掘起しダイヤモンド工具の製作:初期先端半径100nmの単結晶ダイヤモンド圧子を軟鋼上で摩擦してフラッシングすることにより,耐摩耗性を向上させた引っかき子を製作した.4)マイクロ掘起しテクスチャの創成実験:3軸加工機上でFTSシステムに単結晶ダイヤモンド引っかき子を把時させ,数ミクロン振幅の振動を深さ方向に印加しつつ,ミスト潤滑下で高速引っかき加工し,純チタン板上にマイクロ掘起しテクスチャを創成し,安定したマイクロ掘起し溝を得るための加工条件と課題を明らかにした.

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (10件) (うち査読あり 10件) 学会発表 (2件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Deformation and Material Removal in a Nanoscale Multi-layer Thin Film Solarpanel Using Nanoscratch2011

    • 著者名/発表者名
      Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou
    • 雑誌名

      International Journal Machine Tools & Manufacture

      巻: Vol.51 ページ: 182-189

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mold Fabricated by Nanoscratching for Nanoimprint Lithography2010

    • 著者名/発表者名
      W. Ohsone, J. Shimizu, L. Zhou, H. Ojima, T. Onuki, T. Yamamoto, H. Huang
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 843-848

    • DOI

      DOI:10.4028/www.scientific.net/AMR.126-128.843

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Rubbing Phenomena in Ultra-Precision Abrasive Machining2010

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, L. Zhou, T. Yamamoto, H. Huang
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.443 ページ: 417-422

    • DOI

      doi:10.4028/www.scientific.net/KEM.443.417

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of Chemical Reaction Assisted Grinding of Silicon Wafer by Controlling Interatomic Potential Parameters2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Takeyuki Yamamoto
    • 雑誌名

      Journal of Computational and Theoretical Nanoscience

      巻: Vol.7 ページ: 2165-2170

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Wheel Additive On Chemo-Mechanical Grinding (CMG) of Single Crystal Si Wafer2010

    • 著者名/発表者名
      Hidenori Takahashi, Yebing Tian, Yuki Mikami, Jun Shimizu, Libo Zhou, Yoshiaki Tashiro, Hisao Iwase, Sumio Kamiya
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols.447-448 ページ: 106-110

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design of Digital Filters for Si Wafer Surface Profile Measurement-Noise Reduction by Wavelet Transform-2010

    • 著者名/発表者名
      Masashi Ono, Kazutaka Nonomura, Libo Zhou, Jun Shimizu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols.447-448 ページ: 544-548

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancement of Photocatalytic Reaction of Tifanium Dioxide Film by Surface Texturing2010

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu, Libo Zhou, Kaoru Takamori, Hirotaka Ojima, Takeyuki Yamamoto, Han Huang
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: Vols.654-656 ページ: 1784-1787

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Two Dimensional Ultrasonic Vibration Assisted Chemo-Mechanical Grinding of Si wafer2010

    • 著者名/発表者名
      WANG Zhen Zhong, Y. WU, L. ZHOU, GUO Yin Biao, WU Chen Xu
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 282-288

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design of digital filters for Si wafer surface profile measurement-Noise reduction by lifting scheme wavelet transform-2010

    • 著者名/発表者名
      Kazutaka Nonomura, Masashi Ono, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 544-548

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement in Oxide-pattern Sizes Controllability on Scanning Probe Nanolithography2010

    • 著者名/発表者名
      Teppei Onuki, Takashi Tokizaki, Ojima Hirotaka, Jun Shimizu, Libo Zhou
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Vols.126-128 ページ: 701-706

    • 査読あり
  • [学会発表] Development of Electrodes with Micro Ploughing Patterns for MEMS Applications2011

    • 著者名/発表者名
      清水淳
    • 学会等名
      International Tribology Congress (ASIATRIB 2010)
    • 発表場所
      Hyatt Regency Perth, Australia
    • 年月日
      2011-12-07
  • [学会発表] Wavelet変換によるSiウエハ評価に関する研究(第1報)2010

    • 著者名/発表者名
      周立波
    • 学会等名
      砥粒加工学会
    • 発表場所
      岡山大学工学部
    • 年月日
      2010-08-26
  • [備考]

    • URL

      http://info.ibaraki.ac.jp/Profiles/5/0000414/profile.html

URL: 

公開日: 2013-06-26  

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