• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2011 年度 実績報告書

ナノ・マイクロ・ダブル掘起しテクスチャによる高機能光触媒膜の開発

研究課題

研究課題/領域番号 22560134
研究機関茨城大学

研究代表者

清水 淳  茨城大学, 工学部, 准教授 (40292479)

研究分担者 周 立波  茨城大学, 工学部, 教授 (90235705)
小貫 哲平  茨城大学, 工学部, 准教授 (70400447)
尾嶌 裕隆  茨城大学, 工学部, 講師 (90375361)
山本 武幸  茨城大学, 工学部, 技術職員 (40396594)
キーワード掘起し / 引っかき / 光触媒 / 酸化チタン / 陽極酸化 / 振動
研究概要

本研究は,除菌や洗浄,人工光合成などへの応用が期待される酸化チタン膜において,その光触媒機能を向上させるため,純チタン板の微小引っかき加工に陽極酸化を組み合わせることにより,従来の酸化チタン微粒子の焼結では難しかった,高強度かつ高機能の酸化チタン膜を開発することを目的とする.高強度はバインダレス製造により,高機能はナノ・マイクロ・ダブル掘起し表面テクスチャの導入に伴う表面積および光吸収率の向上により成し遂げる.平成23年度は,前年度に得られた引っかきによる微小掘起し加工結果を参考に,微小かつ複雑な表面テクスチャを創成するために好適な条件を見極めた上,切込み深さ5μm,送り1μmで高速引っかきすることにより得られた初期表面(1μm周期で数百nmの深さの肩部に掘起しを伴う溝が形成)を,三軸加工機上で単結晶ダイヤモンド三角錐圧子(稜をすくい面)とファスト・ツール・サーボを用い,とくに切込み深さを数μmの振幅および数百Hzの周波数で正弦波状に変化させ,約20μmの送りで行った引っかきにより,純チタン平面上に溝の各寸法の変化はもちろん,肩部に形成される掘起しの寸法も変化に富んだ表面テクスチャの創成を試みた.その結果,前述の初期加工による表面凹凸(ナノ掘起し溝)が形成された表面に,さらに溝の面内周期および高低差ともに10μm未満の微小掘起しテクスチャを製造可能なことを明らかにした.そして,そのような加工により得られた微小テクスチャを有する純チタン表面を開発した装置で陽極酸化することにより,酸化チタン膜を製造した.その結果,酸化チタン膜厚が40nm程度になること,および引っかきにより創成されたテクスチャ表面に,さらに500nm未満の規模のオレンジピール構造が形成されることがわかった.これらの成果から,提案手法によりナノ・マイクロ・ダブル掘起し表面テクスチャが製造可能なことがわかった.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

「研究実績の概要」に記載したような成果が挙げられており,これは交付申請書に記載した目的および計画に着実に沿って研究が実施されたことによる.

今後の研究の推進方策

平成24年度は,平成23年度に製造可能であることが明らかになったナノ・マイクロ・ダブル掘起し表面テクスチャを有する酸化チタン膜について,実現可能な範囲で最適な加工条件を用い,さらに複雑かつち密なナノ・マイクロ・ダブル掘起し表面テクスチャを有する酸化チタン膜を製造するとともに,その光触媒機能を評価し,提案手法の有用性を検証する.そして最後に,3年の助成期間において得られた成果を報告書にまとめる.

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (10件) (うち査読あり 10件) 学会発表 (3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Influence of Surface Micro Texture on Photocatalitic Function of Titanium Dioxide Film2012

    • 著者名/発表者名
      J. Shimizu, G. Kobayashi, N. Hasegawa, T. Yamamoto, H. Ojima, T. Onuki, L. Zhou
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: Vols.706-709 ページ: 2646-2651

    • DOI

      DOI:10.4028/www.scientific.net/MSF.706-709.2646

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A study on the diamond grinding of ultra-thin silicon wafers2012

    • 著者名/発表者名
      L.Zhou, Y.Tian, H.Huang, H.Sato, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Part B : Journal of Engineering Manufacture

      巻: 226 ページ: 66-76

    • DOI

      10.1177/0954405411414768

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 近赤外分光計測を用いた薄片シリコンウエハの厚さ計測法2011

    • 著者名/発表者名
      小貫哲平, 小野龍典, 尾嶌隆裕, 清水淳, 周立波
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 55 ページ: 729-732

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 大口径Siウエハ表面形状の計測評価技術に関する研究,-第1報:ウェーブレット変換を用いたノイズ除去手法の開発-2011

    • 著者名/発表者名
      周立波, 小野真志, 尾嶌裕隆, 清水淳
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 77 ページ: 1165-1169

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Siウエハ仕上げ加工に及ぼす加工変質層の影響の解析2011

    • 著者名/発表者名
      清水淳, 周立波, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 山本武幸, 鈴木直紀
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 55 ページ: 662-667

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Finite element analysis of deflection and residual stress on machined ultra-thin silicon wafers2011

    • 著者名/発表者名
      Y.B.Tian, L.Zhou, Z.W.Zhong, H.Sato, J.Shimizu
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 26 ページ: 1-7

    • DOI

      10.1088/0268-1242/26/10/105002

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanogrinding of multi-layered thin film amorphous Si solar panels2011

    • 著者名/発表者名
      Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou, Jun Shimizu
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture

      巻: 51 ページ: 797-805

    • DOI

      10.1016/j.ijmachtools.2011.07.001

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Deformation and material removal in a nanoscale multi-layer thin film solar panel using nanoscratch2011

    • 著者名/発表者名
      Taro Sumitomo, Han Huang, Libo Zhou
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture

      巻: 51 ページ: 182-189

    • DOI

      10.1016/j.ijmachtools.2010.11.012

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spectroscopic Measurements of Silicon Wafer Thickness for Backgrinding Process2011

    • 著者名/発表者名
      Teppei Onuki, Naoto Takagi, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Libo Zhou
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: 325 ページ: 672-677

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/AMR.325.672

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of CMG Wheels for Stress Relief in Si Wafer Thinning Process2011

    • 著者名/発表者名
      Yuki Mikami, Libo Zhou, Jun Shimizu, Hirotaka Ojima, Yoshiaki Tashiro, Sumio Kamiya
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: 325 ページ: 678-683

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/AMR.325.678

    • 査読あり
  • [学会発表] Nanomold Fabrication by Scratching and Its Application to Nanoimprint Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, W.Ohsone, H.Ojima, T.Onuki, L.Zhou, T.Yamamoto
    • 学会等名
      6th Int'l Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 発表場所
      Saitama, Japan
    • 年月日
      2011-11-09
  • [学会発表] Molecular Dynamics Simulation of Energy Dissipation Process in Atomic-scale Stick-slip Phenomenon2011

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu, L.Zhou, T.Yamamoto
    • 学会等名
      Int'l Tribology Conference 2011
    • 発表場所
      Hiroshima, Japan
    • 年月日
      2011-11-01
  • [学会発表] SPMによるナノ構造の創成に関する研究-機械および電気的手法による検討-2011

    • 著者名/発表者名
      清水淳, 高野巧一郎, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 山本武幸, 周立波
    • 学会等名
      精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      金沢大学(角間)
    • 年月日
      2011-09-21
  • [備考]

    • URL

      http://sites.google.com/site/nlabibarakitest/

URL: 

公開日: 2013-06-26  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi