RF-MEMSスイッチ接点電極材料へのカーボンナノチューブ薄膜の適用

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560142
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 岡山大学 (2011-2012); 神戸大学 (2010)
• 研究代表者: 木之下 博 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 (50362760)
• 研究分担者: 磯野 吉正 神戸大学, 工学研究科, 教授 (20257819)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: RF MEMS / カーボンナノチューブ薄膜 / 接触抵抗 / 凝着力 / 接点電極

研究概要

MEMS技術を応用した超小型高周波信号デバイスであるRF-MEMSスイッチの接点電極は,マイクロ荷重でも十分低い接触抵抗を必要としている.本研究では,カーボンナノチューブ(CNT)薄膜を用いることで,マイクロ荷重で低接触抵抗を達成することを目的としている.実験の結果,CNT薄膜単独では接触抵抗が高いが金薄膜を蒸着すること,CNTを基板に対して水平に配向させることで接触抵抗を下げられることが明らかとなった

研究成果

• [雑誌論文] Reducing the High Frictions on Carbon Nanotube Films by Applying Oscillating Motions under Micronewton Loads (2012)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Kinoshita, Masatoshi Kageyama, Aidil Azli Alias, Masahiro Fujii
  • 雑誌名: Tribology Online 巻: vol.7 ページ: 213-217
  • DOI: DOI10.2474/troll.7.213.
• [雑誌論文] Bonding of a Carbon Nanotube Film to a Au Film at Low Temperature and Contact Resistance of the Film under Micronewton Loads (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Kinoshita, Y. Isonoand N. Ohmae
  • 雑誌名: Tribology Online 巻: Vol. 6, No. 4 ページ: 189-192
  • DOI: DOI10.2474/trol.6.189
• [学会発表] カーボンナノチューブ薄膜のマイクロニュートン荷重領域における振動印加による摩擦低減効果-振動周波数と振幅依存性- (2012)
  • 著者名/発表者名: 蔭山正敏,アイディル アズリ エイリアス,木之下博,藤井正浩
  • 学会等名: 2012 年 5 月 16日 トライボロジー会議
  • 年月日: 20120514-16
• [学会発表] Friction Force Reduction on Carbon Nanotube (CNT) Films by Oscillating Motions under Micronewton Loads - Oscillation Frequency Dependence (2012)
  • 著者名/発表者名: Aidil Azlibin Alias, Masatoshi Kageyama, Hiroshi Kinoshita, Masahiro Fujii
  • 学会等名: 2012 年 4 月 24 日 第12回機素潤滑 設計部門講演会
  • 年月日: 20120423-24
• [学会発表] CNT 薄膜を集積したマイクロ接点電極の摩耗耐久性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 末國 啓輔, 香田 永徳, 木之下 博, 花崎 逸雄,磯野 吉正
  • 学会等名: 2012 年10 月 22 日,第29回センサ・マイクロマシンと応用システム
  • 発表場所: シンポジウム
  • 年月日: 2012-10-22
• [学会発表] 振動印加によるカーボンナノチューブ薄膜の摩擦低減-ミリニュートン荷重領域における効果- (2012)
  • 著者名/発表者名: 木之下博、横井悠馬、蔭山正敏、アイディル アズリ エイリアス、藤井正浩
  • 学会等名: 2012 年 9 月 17 日,トライボロジー会議
  • 年月日: 2012-09-17
• [学会発表] 振動印加によるカーボンナノチューブ薄膜の摩擦係数の0から1以上までのコントロール (2012)
  • 著者名/発表者名: 木之下博、蔭山正敏、アイディル アズリ エイリアス、藤井正浩
  • 学会等名: 2012 年 6 月 14日,ナノ学会第10回大会
  • 年月日: 2012-06-14
• [学会発表] マイクロ荷重領域におけるカーボンナノチューブ薄膜と金チップとの接触電気抵抗 (2010)
  • 著者名/発表者名: 木之下博,大前伸夫
  • 学会等名: 2010 年 5 月 1 日,トライボロジー会議
  • 年月日: 2010-05-01