|
硬質炭素膜として認知されている DLC 膜は多くの優れた特性を有することから注目を集めているが、耐熱性の点で課題が指摘されている。本研究では硬質炭素膜の耐熱性改善に焦点を絞り、Si-O-DLC および Si-N-DLC コンポジット膜の開発を行った。その結果、Si-O ならびに Si-N クラスタを分散させることで良好な耐熱性を有することを明らかにした。特に Si-N クラスタを用いた場合に、700℃と従来の特性(せいぜい 400℃程度)に比べ優れた性能を示すことが分かった。尚、当該開発膜は良好なトライボロジー特性を示すことも明らかにした。
|
