ガスクラスタイオンビームによるナノ潤滑膜評価用超平滑摺動子の開発に関する研究

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560153
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 公益財団法人名古屋産業科学研究所 (2012); 財団法人 名古屋産業科学研究所 (2010-2011)
• 研究代表者: 三矢 保永 公益財団法人名古屋産業科学研究所, その他部局等, 研究員 (10200065)
• 研究分担者: 張 賀東 名古屋大学, 情報科学研究科, 准教授 (80345925)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: トライボロジー / ナノトライボロジー / 精密計測 / 記憶装置

研究概要

単分子層の液体潤滑膜(分子潤滑膜)を介した相対運動の摩擦特性を評価するために,ガスクラスタイオンビーム(GCIB:gas cluster ion beam)加工を用いて,慴動面の平均粗さを分子潤滑膜厚さ以下(sub-nm)まで超平滑化するとともに,摩擦励起振動の発生を抑圧できる安定性の高い慴動子アセンブリを開発した.さらに,磁気ディスク上に塗布されたナノ潤滑膜の摩擦実験を行い,新開発の慴動子アセンブリの有効性を確認した.

研究成果

• [雑誌論文] ガスクラスタイオンビーム加工によるガラス面の表面粗さおよび表面エネルギーの変化 (2012)
  • 著者名/発表者名: 張賀東,三矢保永,難波克也,榊原寛幸,福澤健二,伊藤伸太郎
  • 雑誌名: トライボロジスト 巻: Vol.57,No.2 ページ: 116-122
• [雑誌論文] Dependence of Pin Surface Roughness for Friction Forces of Ultrathin Perfluoropolyether Lubricant Film on Magnetic Disks by Pin-on-Disk Test (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Tani, Y. Mitsuya, T. Kitagawa, and N. Tagawa
  • 雑誌名: Advances in Tribology 巻: Vol. 2012
  • DOI: doi :10. 1155/2012/923818
• [雑誌論文] Friction Measurements of Nanometer-thick Lubricant Films Using Ultra-smooth Sliding Pins Treated with Gas Cluster Ion Beam Applied Surface Scienc
  • 著者名/発表者名: R. Lu, H. Zhang, Y. Mitsuya, K. Fukuzawa, S. Itoh
  • 雑誌名: Applied Surface Science 巻: (to be published)
• [学会発表] 磁気ディスク表面におけるナノ厚さ液体潤滑膜の動的摩擦特牲 (2013)
  • 著者名/発表者名: 呂仁国,張賀東,三矢保永,福澤健二,伊藤伸太郎
  • 学会等名: 日本機械学会情報・知能・精密機・器部門講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2013-03-22
• [学会発表] ガスクラスタイオンビーム加工による超平滑化慴動子を用いたナノ潤滑膜の摩擦測定 (2012)
  • 著者名/発表者名: 呂仁国,張賀東,三矢保永,福澤健二,伊藤伸太郎
  • 学会等名: トライボロジー会議2012秋
  • 発表場所: 室蘭
  • 年月日: 2012-09-17
• [学会発表] ナノ厚さ潤滑膜特性評価用のピンオンディスク摩擦測定機の性能向上 (2012)
  • 著者名/発表者名: 難波克也,飯田勘,張賀東,三矢保永,福澤健二,伊藤伸太郎
  • 学会等名: 日本機械学会2012年度年次大会
  • 発表場所: 金沢
  • 年月日: 2012-09-10
• [学会発表] ガスクラスタイオンビーム加工によるガラス面の表面粗さおよび表面エネルギーの変化 (2011)
  • 著者名/発表者名: 難波克也,榊原寛幸,張賀東,三矢保永,福澤健二,伊藤伸太郎
  • 学会等名: 日本機械学会2011年度年次大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-09-11
• [学会発表] Development and Evaluation of Super Smooth Probes Applicable to Pin-On-Disk Tests for Measuring Surface Forces (Invited talk) (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Tani, Y. Mitsuya, T. Kitagawa, and N. Tagawa
  • 学会等名: Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2010
  • 発表場所: Singapore
  • 年月日: 2010-11-12
• [備考]
  • URL: http://www.nisri.jp/dor/report/index.html
• [産業財産権] 2面問相互作用力あるいは摩擦力測短層の慴動子アセンブリ,慴動子アセンブリの製造方法および測定装置 (2012)
  • 発明者名: 張賀東,三矢保永
  • 権利者名: 名古屋大学
  • 産業財産権番号: 特願2012-196243
  • 出願年月日: 2012-09-06
• [産業財産権] 2面間相互作用力あるいは摩擦力測定層の慴動子アセンブリ,慴動子アセンブリの製造方法および測定装置 (2010)
  • 発明者名: 谷弘詞,三矢保永
  • 権利者名: 関西大学,名古屋産業科学研究所
  • 産業財産権番号: 特願2010-236470
  • 出願年月日: 2010-10-21