2012 年度研究成果報告書

低流体ノイズ弁による空気圧ベローズ微動ステージのサブナノ位置決め制御法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	22560251
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	知能機械学・機械システム
研究機関	東京電機大学
研究代表者	藤田壽憲東京電機大学, 工学部, 教授 (70242279)
連携研究者	香川利春東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (50108221)
研究期間 (年度)	2010 – 2012
キーワード	精密機械システム / 機械要素 / 流体工学 / 空気圧 / 超精密位置決め
研究概要	超精密位置決めの研究はナノからサブナノへと移ってきている。本研究では、圧電素子の欠点を補うアクチュエータとして空気圧ベローズを用い、超精密位置決め用の微動ステージを製作した。これがサブナノの位置精度を達成するために、駆動する弁から発生する微小な圧力変動をすきま流れを利用して低減する低流体ノイズ弁を開発し、同時にその制御法を検討した、その結果、最高水準のサブナノの位置精度を実現した。