液体クラスターイオンビームによる半導体加工法実用化のためのビーム強度増強

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560329
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 京都大学
• 研究代表者: 龍頭 啓充 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (20392178)
• 研究分担者: 高岡 義寛 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90135525) ; 竹内 光明 京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (10552656)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 微細プロセス技術

研究概要

半導体産業分野を初めとする工業分野において液体クラスターイオンビーム技術を応用するために、液体クラスターイオンビーム照射装置の改良を行った。ビーム電流密度約 3 μA/cm2の水クラスターイオンビームが得られた。水クラスターイオンビームがシリコン及び PMMA に対して高い加工能力を持つことが分かった。さらに、この改良によりクラスター材料としてのアセトンの使用が可能になり、サポートガスを使用せずにアセトンクラスターイオンビームを生成した。アセトンクラスターイオンビームはシリコン基板に対して高い加工能力を持つことが分かった。

研究成果

• [雑誌論文] Irradiation effects of ethanol cluster ion beam on mica surface (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Ryuto, Y. Ohmura, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
  • 雑誌名: Trans. MRS-J 巻: 38 ページ: 93-96
  • 査読あり
• [雑誌論文] Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface (2013)
  • 著者名/発表者名: H. Ryuto, G. Ichihashi, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
  • 雑誌名: Vacuum 巻: 87 ページ: 119-122
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface irradiation and materials processing using polyatomic cluster ion beams (2012)
  • 著者名/発表者名: G. H. Takaoka, H. Ryuto, M. Takeuchi
  • 雑誌名: J. Mater. Res 巻: 27 ページ: 806-821
  • 査読あり
• [学会発表] Acetone cluster ion beam irradiation on solid surfaces (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ryuto, Y. Kakumoto, S. Itozaki, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
  • 学会等名: 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 20121021-25
• [学会発表] Surface reaction between water cluster ion and silicon surface (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ryuto, G. Ichihashi, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
  • 学会等名: 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 20121021-25
• [学会発表] Irradiation effects of ethanol cluster ion beam on mica surface (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ryuto, Y. Ohmura, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
  • 学会等名: International Union of Material Research Societies-International Conference on Electronic Materials 2012
  • 発表場所: Yokohama
  • 年月日: 20120923-28
• [学会発表] 超音速自由噴流法で生成したアセトンクラスターイオンビームのビーム特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 龍頭啓充、糸崎俊介、角元友樹、竹内光明、高岡義寛
  • 学会等名: ナノ学会第10回大会
  • 発表場所: 大阪
  • 年月日: 20120614-16
• [学会発表] H. Ryuto, H. Mukai, M. Takeuchi, G. H. Takaoka (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Ryuto, H. Mukai, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
  • 学会等名: The Eleventh International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 20110706-08
• [学会発表] Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Ryuto, G. Ichihashi, M. Takeuchi, G. H. Takaoka
  • 学会等名: The Eleventh International Symposium on Sputtering & Plasma Processes
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 20110706-08
• [学会発表] シリコン表面へのエタノールクラスターイオン照射効果の基板温度依存性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 龍頭啓充、向井寛、大村祐貴、 竹内光明、高岡義寛
  • 学会等名: ナノ学会第9回大会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 20110602-04
• [学会発表] エタノールクラスターを用いたシリコン基板表面加工 (2011)
  • 著者名/発表者名: 龍頭啓充、向井寛、大村祐貴、 竹内光明、高岡義寛
  • 学会等名: ナノ学会第9回大会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 20110602-04