研究成果の概要 |
本研究は, 新たに, 波長より小さな欠損の近接場に着目し, 「動的せん断ひずみ解析」と時空間勾配解析による欠損部の撮像法を提案している. 提案する解析手法は, 検査対象表面の法線方向(z軸方向)と検査対象表面に沿う方向に関する, 互いに直交する一対の面外せん断歪みからなる信号列の共分散行列の行列式を利用し, 分散性の波動場において, 入射波の周波数や位相速度とは独立に点状欠陥のエバネッセント場領域を撮像するものである. エバネッセント場は, 放射源(このばあいは 欠損)近傍に停留する場であるため, エバネッセント場の検出は, 欠損領域の境界の検出につながるものである.
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