積層した異種フェロイック材料の積層界面の評価と機能複合化素子の開発

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560707
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 構造・機能材料
• 研究機関: 金沢工業大学
• 研究代表者: 岸 陽一 金沢工業大学, 工学部, 教授 (70265370)
• 研究分担者: 池永 訓昭 金沢工業大学, ものづくり研究所, 講師 (30512371) ; 矢島 善次郎 金沢工業大学, 工学部, 教授 (60148145)
• 連携研究者: 作道 訓之 金沢工業大学, 工学部, 教授 (20267719)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: インテリジェント材料 / 非平衡相薄膜材料 / 形状記憶合金 / 相変態

研究概要

多元素同時スパッタリング装置に基板加熱及び基板へのイオン照射機構を取り付けた装置を開発した.本装置を使用することで,基板温度が353Kであっても結晶化したTiNi合金薄膜を得ることが可能となった.ポリイミド箔上にTiNi合金薄膜を付与し,カンチレバー状に加工した素子に0.1Hz周期で電圧を印加したところ,良好な二方向形状回復動作を示した.強磁性形状記憶合金とチタン酸ジルコン酸鉛の積層材も作製し評価したところ,良好な電気磁気効果を示した.したがって,TiNi合金薄膜と高分子圧電材料の機能複合化も実現できるものと考えている.

研究成果

• [雑誌論文] Wuttig, Microstructures of Fe-Pd AlloyRibbons Subjected to Rapidly (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Kishi, T. Kubota, Z. Yajima, T.Okazaki, Y. Furuya and Manfred
  • 雑誌名: Solidified Melt Spinning, MaterialsScience Forum 巻: 738-739 ページ: 431-435
  • DOI: DOI:10.4028/www.scientific.net/MSF.738-739.431
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low TemperatureCrystallization of Sputter-DepositedTiNi Films (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Kishi, N. Ikenaga, N. Sakudo and Z.Yajima
  • 雑誌名: Advances in Science andTechnology 巻: 78 ページ: 81-86
  • DOI: DOI:10.4028/www.scientific.net/AST.78.81
  • 査読あり
• [雑誌論文] Magnetoelectric Effect of Fe70Pd30Ferromagnetic Shape Memory AlloyFilm - Lead Zirconate TitanateTrilayer Composites at Low and High Magnetic Field Frequencies (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. Sado, C. Sai t o, Y. Furuya, Y. Ki shi , Z. Yajima and T. Okazaki
  • 雑誌名: JapaneseJournal of Applied Physics 巻: 50-11
  • DOI: DOI:10.1143/JJAP.50.113001
  • 査読あり
• [雑誌論文] Shape Memory Behavior ofTiNi Alloy Films Sputter-Deposited onPolyimide Substrate, to be publishedin
  • 著者名/発表者名: Y. Kishi, N. Ikenaga, N. Sakudo and Z. Yajima
  • 雑誌名: Journal of Alloys and Compounds
  • DOI: DOI:10.1016/j.jallcom.2012.02.020
  • 査読あり
• [雑誌論文] Magnetic Properties of Thin-filmFe-Pd Alloy and MagnetoelectricCoupling in Fe-Pd/PZT/Fe-PdLaminate Composites, to be publishedin
  • 著者名/発表者名: T. Okazaki, K. Mikami, Y. Furuya, Y.Kishi, Z. Yajima and T. Kubota
  • 雑誌名: Journal of Alloys and Compounds
  • DOI: DOI:10.1016/j.jallcom.2011.10.114
  • 査読あり
• [学会発表] Low TemperatureCrystallization of Sputter-Deposited TiNi Films (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Kishi, N. Ikenaga, N. Sakudo and Z. Yaj i ma
  • 学会等名: Abstracts of 4thInternational Conference "SMARTMATERIALS, STRUCTURES AND SYSTEMS", CIMTEC 2012
  • 発表場所: Montecatini Terme (Italy)
  • 年月日: 2012-06-13
• [学会発表] プラズマイオン注入成膜法に関する研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 池永訓昭
  • 学会等名: 北陸マイクロナノプロセス研究会 シーズセミナー
  • 発表場所: 北陸先端科学技術大学院大学(石川)
  • 年月日: 2011-06-24
• [学会発表] マルチフェロイック材料の特性を応用したマイクロマシンの創製 (2011)
  • 著者名/発表者名: 岸陽一
  • 学会等名: 特別講演会
  • 発表場所: 金沢工業大学(石川)
  • 年月日: 2011-02-07