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2010 年度 実績報告書

コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング

研究課題

研究課題/領域番号 22560719
研究機関静岡大学

研究代表者

奥谷 昌之  静岡大学, 工学部, 准教授 (00293605)

研究分担者 村上 健司  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (30182091)
キーワード平面プラズマ / 製膜 / ダイレクトパターニング
研究概要

1. プラズマエネルギーの制御
プラズマエネルギーは櫛型金属グリッドの太さとギャップの大きさに依存することから、これを参考に高エネルギーが発生するグリッドパターンを新規電極により検討した。また、一般にプラズマエネルギーは印加電圧及び周波数に大きく依存することがわかっている。これまでの研究は9kV,60Hzの条件のみの検討であったが、本年度はプラズマの発生状態や強度の制御のために高周波アンプを購入し、プラズマの発生状態や強度の周波数依存性を検討した。その結果、これまでより約1桁大きいエネルギーを発生させることが可能になった。
2. 酸化物の製膜と評価
製膜手順は、金属前駆体水溶液をスピンコートによりガラス基板上に塗布後、基板に平面プラズマを照射した。本年度は化学的手法の中でも比較的低温での製膜が可能な亜鉛のアンミン錯体を前駆体とし、酸化亜鉛の単相化を達成した。また、膜の表面形態は、プラズマの状態に依存することも明らかとなった。
3. 電極ホルダーおよび製膜用治具の改良
これまでの製膜の際に再現性が低い原因の1つとして、電極および基板の固定が曖昧であることが挙げられた。このため、本年度は自作治具を設計し、これにオニオメータを組み合わせてマイクロメーターオーダーでの精密制御を実現した。これにより、一連の製膜試験の再現性が大きく向上した。

  • 研究成果

    (13件)

すべて 2011 2010 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (10件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Controlling the haze ratio with a light condensable layer on working electrodes for dye-sensitized solar cells2010

    • 著者名/発表者名
      T.Yamamoto, K.Ohashi, M.Okuya
    • 雑誌名

      Trans.Mat.Res.Soc.Jpn.

      巻: Vol.35 ページ: 409-412

    • 査読あり
  • [雑誌論文] ZnO thin film prepared by a microwave heating2010

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi, K.Shinohara, K.Shiozaki, M.Okuya
    • 雑誌名

      Trans.Mat.Res.Soc.Jpn.

      巻: VOL.35 ページ: 7-9

    • 査読あり
  • [学会発表] コプラナー型沿面放電電極の最適化と常温・大気圧下での酸化物薄膜の形成2011

    • 著者名/発表者名
      鍋田、伊豫田、鹿谷、柴山、奥谷
    • 学会等名
      2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大(厚木市)
    • 年月日
      2011-03-26
  • [学会発表] 沿面放電による常温大気圧下での酸化物薄膜の形成2011

    • 著者名/発表者名
      鍋田、伊豫田、鹿谷、柴山、奥谷
    • 学会等名
      2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大(厚木市)
    • 年月日
      2011-03-26
  • [学会発表] 高エネルギー用コプラナー型沿面放電用電極の作製と常温・大気圧下の酸化物薄膜の形成2011

    • 著者名/発表者名
      鍋田、伊豫田、鹿谷、柴山、奥谷
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2011年年会
    • 発表場所
      静岡大学(浜松市)
    • 年月日
      2011-03-18
  • [学会発表] マイクロ波加熱を用いた酸化物透明導電膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      川畑、池場、奥谷
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2011年年会
    • 発表場所
      静岡大学(浜松市)
    • 年月日
      2011-03-18
  • [学会発表] Preparation of oxide films by the coplanar surface discharge technique2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nabeta, M.Shikatani, M.Okuya
    • 学会等名
      PACIFICHEM 2010
    • 発表場所
      Honolulu Convention Center (Honolulu)
    • 年月日
      2010-12-16
  • [学会発表] Preparation of ITO thin films by a microwave heating technique2010

    • 著者名/発表者名
      M.Okuya, M.Ikeba
    • 学会等名
      PACIFICHEM 2010
    • 発表場所
      Honolulu Convention Center (Honolulu
    • 年月日
      2010-12-16
  • [学会発表] ZnO thin films prepared by a coplanar surface discharge technique2010

    • 著者名/発表者名
      K.Nabeta, M.Shikatani, M.Okuya
    • 学会等名
      ICC3
    • 発表場所
      Osaka International Convention Center (Osaka)
    • 年月日
      2010-11-15
  • [学会発表] コプラナー型沿面放電による常温・大気圧下での酸化物薄膜の形成2010

    • 著者名/発表者名
      鍋田、伊豫田、鹿谷、柴山、奥谷
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎市)
    • 年月日
      2010-09-15
  • [学会発表] マイクロ波加熱によるITO透明導電膜の作製2010

    • 著者名/発表者名
      川畑、池場、奥谷
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第26回関献部研究発表会
    • 発表場所
      日立市多賀市民会館(日立市)
    • 年月日
      2010-07-22
  • [学会発表] 沿面放電による酸化スズ膜の形成2010

    • 著者名/発表者名
      伊豫田、鹿谷、奥谷
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第26回関東支部研究発表会
    • 発表場所
      日立市多賀市民会館(日立市)
    • 年月日
      2010-07-22
  • [備考]

    • URL

      http://www.h4.dion.ne.jp/okuya/

URL: 

公開日: 2012-07-19  

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