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2011 年度 実績報告書

コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング

研究課題

研究課題/領域番号 22560719
研究機関静岡大学

研究代表者

奥谷 昌之  静岡大学, 工学部, 准教授 (00293605)

研究分担者 村上 健司  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (30182091)
キーワード平面プラズマ / 製膜 / ダイレクトパターニング / 酸化亜鉛 / 酸化スズ
研究概要

1.プラズマエネルギーの制御
プラズマエネルギーは櫛型金属グリッドの太さとギャップの大きさに依存することから、これを参考に高エネルギーが発生するグリッドパターンを新規電極により検討した。また、高周波アンプによりプラズマの発生状態や強度の周波数依存性を検討した。さらに、電極用誘電体セラミックスを従来のアルミナから、誘電率の高いジルコニアへ変更することにより、昨年度に記録した最大エネルギーに比べ、約2倍大きいプラズマエネルギーを発生させることが可能になった。
2.製膜用冶具の改良
昨年度までの固定型製膜方式を改良し、製膜時に基板を回転させることでプラズマエネルギーの供給を基板全体で均質にすることに成功した。
3.酸化スズの製膜
昨年度までに当初の目的であった酸化亜鉛膜の単相化に成功した。このため、本研究の汎用性を見るために、酸化スズの製膜に取り掛かった。製膜時に0.3Tの磁場を印加することにより、プラズマの空間的拡がりを制御し、従来以上に効率的に基板へエネルギーを供給することが可能になった。現状では、正方晶と立方晶の混晶状態であるため、単相化が課題として残った。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

当初目的としていた酸化亜鉛の単相化に続き、酸化スズの製膜にも応用できることが示された。また、磁場印加によるエネルギー制御も示されたため、おおむね順調に進展していると考えられる。

今後の研究の推進方策

形成される平面プラズマの分解能が、現在のところ0.1mm程度であることから、電極用グリッドの外注を検討している。また、酸化スズの単相化には、雰囲気制御により対処する予定である。

  • 研究成果

    (15件)

すべて 2012 2011 その他

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (13件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] TCO films with high haze and transmittance for dye-sensitized solar cells prepared by spray pyrolysis deposition technique2011

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Okuya, 他
    • 雑誌名

      Proc. PVSEC-21

      ページ: 2D-5P-51

  • [学会発表] 固体型色素増感太陽電池におけるCuI電解質の真空充填プロセスの最適化2012

    • 著者名/発表者名
      藤井亮太, 他
    • 学会等名
      電気化学会第79回大会
    • 発表場所
      アクトシティ浜松(浜松市)
    • 年月日
      2012-03-31
  • [学会発表] ヘイズ率の最適化による色素増感太陽電池の高効率化2012

    • 著者名/発表者名
      村上遼, 他
    • 学会等名
      電気化学会第79回大会
    • 発表場所
      アクトシティ浜松(浜松市)
    • 年月日
      2012-03-31
  • [学会発表] TNO透明導電膜を利用した色素増感太陽電池の高効率化2012

    • 著者名/発表者名
      竹村秀一郎, 他
    • 学会等名
      電気化学会第79回大会
    • 発表場所
      アクトシティ浜松(浜松市)
    • 年月日
      2012-03-31
  • [学会発表] マイクロ波加熱を用いたITO透明導電膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      川畑陽輔, 他
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2012年年会
    • 発表場所
      京都大学(京都市)
    • 年月日
      2012-03-20
  • [学会発表] TNO透明導電膜を利用した色素増感太陽電池の作製2012

    • 著者名/発表者名
      竹村秀一郎, 他
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-17
  • [学会発表] コプラナー型沿面放電による常温・大気圧下での酸化スズ薄膜の形成2012

    • 著者名/発表者名
      花井利通, 他
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-16
  • [学会発表] 色素増感太陽電池の現状と課題2011

    • 著者名/発表者名
      奥谷昌之
    • 学会等名
      -クリーンエネルギーの最先端-東海コンファレンス2011 in静岡日本化学会東海支部
    • 発表場所
      静岡大学佐鳴会館(浜松市)(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-01
  • [学会発表] マイクロ波加熱を利用したITO透明導電膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      奥谷昌之, 他
    • 学会等名
      第5回日本電磁波エネルギー応用学会シンポジウム
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(横浜市)
    • 年月日
      2011-11-30
  • [学会発表] TCO layer with high haze and transmittance for dye-sensitized solar cells2011

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Okuya, 他
    • 学会等名
      PVSEC-21
    • 発表場所
      Hilton Sea Hawk (Fukuoka)
    • 年月日
      2011-11-29
  • [学会発表] TNO透明導電膜を利用した色素増感太陽電池の作製2011

    • 著者名/発表者名
      竹村秀一郎, 他
    • 学会等名
      2011年電気化学秋季大会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • 年月日
      2011-09-09
  • [学会発表] 高ヘイズ・高透過性透明導電膜の作製と色素増感太陽電池への応用2011

    • 著者名/発表者名
      村上遼, 他
    • 学会等名
      2011年電気化学秋季大会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • 年月日
      2011-09-09
  • [学会発表] マイクロ波加熱による酸化物透明導電膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      川畑陽輔, 他
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第24回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      北海道大学(札幌市)
    • 年月日
      2011-09-08
  • [学会発表] 沿面放電による常温・大気圧下での酸化物薄膜の形成2011

    • 著者名/発表者名
      奥谷昌之, 他
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第24回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      北海道大学(札幌市)
    • 年月日
      2011-09-08
  • [備考]

    • URL

      http://www.h4.dion.ne.jp/~okuya/

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公開日: 2013-06-26  

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