コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560719
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 静岡大学
• 研究代表者: 奥谷 昌之 静岡大学, 工学部, 准教授 (00293605)
• 研究分担者: 村上 健司 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (30182091)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 沿面放電 / プラズマ / 薄膜 / 酸化亜鉛

研究概要

近年、製膜技術は様々な方式が開発・実用化されているが、その多くは高温加熱や真空を要する。最近は低融点材料基板上への製膜の需要が多く、本研究グループでは沿面放電技術に着目した。沿面放電は誘電体バリア放電に分類され、常温・大気圧下で高エネルギープラズマが平面上に発生することが特徴である。本研究では、この技術を酸化亜鉛の製膜へ応用するとともに、ダイレクトパターニングへの利用を試みた。

研究成果

• [雑誌論文] スプレー熱分解(SPD)法による透明導電膜の作製と色素増感太陽電池への応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 奥谷昌之
  • 雑誌名: 表面技術 巻: Vol.63 ページ: 349-352
  • 査読あり
• [雑誌論文] Controlling the haze ratio with a light condensable layer on working electrodes for dye-sensitized solar cells (2010)
  • 著者名/発表者名: Takafumi Yamamoto、Kenji Ohashi and Masayuki Okuya
  • 雑誌名: Trans. Mat. Res. Soc. Jpn 巻: Vol.35 ページ: 409-412
  • 査読あり
• [雑誌論文] ZnO thin film prepared by a microwave heating (2010)
  • 著者名/発表者名: Shinji Takahashi 、Katsuki Shinohara、Katsuyuki Shiozaki and Masayuki Okuya
  • 雑誌名: Trans. Mat. Res. Soc. Jpn. 巻: Vol.35 ページ: 7-9
  • 査読あり
• [学会発表] 沿面放電による常温・大気圧下での酸化スズ薄膜の作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 丹祐人、花井利通、伊豫田正彦、奥谷昌之
  • 学会等名: 2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大(神奈川県).
  • 年月日: 20130327-30
• [学会発表] SnO2thin films prepared by coplanar surface discharge technique (2012)
  • 著者名/発表者名: Toshimichi Hanai, Masato Tan, Masahiko Iyoda, Keigo Nabeta and Masayuki Okuya
  • 学会等名: IUMRS-ICEM 2012
  • 発表場所: Pacifico Yokohama(Yokohama).
  • 年月日: 20120923-28
• [学会発表] 沿面放電による常温大気圧下での酸化スズ薄膜の作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 丹祐人、花井利通、伊豫田正彦、奥谷昌之
  • 学会等名: 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大・松山大(愛媛県).
  • 年月日: 20120911-14
• [学会発表] 沿面放電による常温・大気圧下での酸化物薄膜の形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 奥谷昌之、伊豫田正彦、花井利通、鍋田圭吾
  • 学会等名: 日本セラミックス協会 第24回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 北海道大(北海道)
  • 年月日: 20110907-09
• [学会発表] Preparation of oxide films by the coplanar surface discharge technique (2010)
  • 著者名/発表者名: Keigo Nabeta、Masahiro Shikatani and Masayuki Okuya
  • 学会等名: PACIFICHEM 2010
  • 発表場所: Hawaii Convention Center(Honolulu).
  • 年月日: 20101215-20
• [学会発表] コプラナー型沿面放電による常温・大気圧下での酸化物薄膜の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 鍋田圭吾、伊豫田正彦、鹿谷真博、柴山義浩、奥谷昌之
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大(長崎県)
  • 年月日: 20100914-17
• [図書] 色素増感型太陽電池の材料開発・デバイス化・評価技術, 第2編第23章, 透明導電性ガラスのヘイズ率制御による色素増感太陽電池の高効率化 (2010)
  • 著者名/発表者名: 奥谷昌之, 他
  • 総ページ数: 166-172
  • 出版者: サイエンス&テクノロジー(株)
• [図書] 太陽電池(a) (b) (c) と部材の開発・製造技術～構造・プロセスから見る、耐久性向上・高効率化を目指した各種事例～, 第4章第1節第4項 太陽電池用FTO透明導電膜の開発～色素増感太陽電池から～ (2010)
  • 著者名/発表者名: 奥谷昌之, 他
  • 総ページ数: 237-245
  • 出版者: (株)情報機構
• [備考]
  • URL: http://www.h4.dion.ne.jp/okuya/
• [産業財産権] ZnOMgOS系膜の製造方法及び被膜方法並びにZnMgOS系膜含有体の製造方法 (2012)
  • 発明者名: 須藤裕之、奥谷昌之
  • 権利者名: 須藤裕之、奥谷昌之
  • 産業財産権番号: 特願2012-176726
  • 出願年月日: 2012-08-09