電子線誘起蒸着法による酸化物ナノ構造の作製とその物性評価

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22560727
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 芝浦工業大学 (2011-2012); 埼玉工業大学 (2010)
• 研究代表者: 下条 雅幸 芝浦工業大学, 工学部, 教授 (00242313)
• 連携研究者: 三石 和貴 物質材料研究機構, 量子ドットセンター, 主幹研究員 (40354328)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: ナノプロセス / ナノワイヤー / ナノセンサー

研究概要

目的の金属元素を含む有機金属化合物ガスを基板上に極少量流し、そこへ細く収束した電子ビームを照射することで、ガスを分解し、局所的に蒸着を行う方法は電子線誘起蒸着(EBID)法と呼ばれ、目的の場所へサイズや形状を制御してナノ構造を作製できる有望な方法である。本研究ではこの方法を利用して、酸化物や金ナノ構造を作製する方法を確立し、特にモリブデン酸化物ナノ構造については光伝導特性について検討した。

研究成果

• [雑誌論文] Optical and electrical Kerr effects in polydiacetylene nanoparticle submonolayer probed by surface plasmon resonance spectroscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: O. Kuraishi, D. Tanaka, M. Shimojo and K. Kajikawa
  • 雑誌名: J. Phys. D 巻: 45 ページ: 235105
  • DOI: doi:10.1088/0022-3727/45/23/235105
  • 査読あり
• [雑誌論文] Three-dimensional observation of SiO2 hollow spheres with a double-shell structure using aberration-corrected scanning confocal electron microscopy (2012)
  • 著者名/発表者名: X. Zhang, M. Takeguchi, A. Hashimoto, K. Mitsuishi, P. Wang, P. D. Nellist, A. I. Kirkland, M. Tezuka and M. Shimojo
  • 雑誌名: J. Electron Microsc 巻: 61, 3 ページ: 159-169
  • DOI: doi:10.1093/jmicro/dfs039
  • 査読あり
• [雑誌論文] Phase of the electric field localized at surface-immobilized gold nanospheres determined by second-harmonic interferometry (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Yamaguchi, H. Okawa, K. Hashimoto, M. Shimojo and K. Kajikawa
  • 雑誌名: Phys. Rev. B 巻: 83 ページ: 085425
  • DOI: DOI:10.1103/PhysRevB.83.085425
  • 査読あり
• [雑誌論文] Application of scanning confocal electron microscopy to nanomaterials and the improvement in resolution by image processing (2011)
  • 著者名/発表者名: X. Zhang, M. Takeguchi, A. Hashimoto, K. Mitsuishi and M. Shimojo
  • 雑誌名: Mater. Sci. Forum 巻: 675-677 ページ: 259-262
  • DOI: doi:10.4028/www.scientific.net/MSF.675-677.259
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micropatterning of polydiacetylene nanoparticle monolayer based on ultraviolet or electron beam polymerization (2011)
  • 著者名/発表者名: D. Tanaka, H. Karube, M. Shimojo and K. Kajikawa
  • 雑誌名: Appl. Phys. Express 巻: 4 ページ: 121604
  • DOI: DOI:10.1143/APEX.4.121604
  • 査読あり
• [雑誌論文] Optical response of gold-nanoparticle-amplified surface plasmon resonance spectroscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Uchiho, M. Shimojo, K. Furuya and K. Kajikawa
  • 雑誌名: J. Phys. Chem. C 巻: 114 ページ: 4816-4824
  • DOI: doi:10.1021/jp910438q
  • 査読あり
• [雑誌論文] Electro-optic effect and optical rectification in gold nanoparticles immobilized above a gold surface (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Uchiho, M. Shimojo and K. Kajikawa
  • 雑誌名: J. Phys. D 巻: 43 ページ: 495101
  • DOI: doi:10.1088/0022-3727/43/49/495101
  • 査読あり
• [学会発表] Deposition of magnetic and photoconductive nanostructures (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Shimojo, K. Mitsuishi and M. Takeguchi
  • 学会等名: 4th Focused Electron Beam Induced Processing Workshop (FEBIP 2012)
  • 発表場所: Zaragoza, Spain
  • 年月日: 20120620-21
• [学会発表] Optical rectification and electro-optic effect of plasmonic metamolecule (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Uchiho, M. Shimojo and K. Kajikawa
  • 学会等名: 5th International Conference on Surface Plasmon Photonics (SPP5)
  • 発表場所: Busan, Korea
  • 年月日: 20120515-20
• [学会発表] 電子顕微鏡を利用したナノ構造作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 下条雅幸、三石和貴、竹口雅樹
  • 学会等名: 表面技術協会ナノテク部会第46回研究会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-08-07
• [学会発表] PDAナノ結晶の光・電子線リソグラフィー (2011)
  • 著者名/発表者名: 田中大輔、倉石央騎、下条雅幸、梶川浩太郎
  • 学会等名: 第58回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川
  • 年月日: 20110324-27
• [学会発表] 表面プラズモン共鳴を利用したPDAナノ結晶のKerr効果の測定 (2010)
  • 著者名/発表者名: 倉石央騎、田中大輔、下条雅幸、梶川浩太郎
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎
  • 年月日: 20100914-17
• [学会発表] Application of scanning confocal electron microscopy to nanomaterials and the improvement in resolution by image processing (2010)
  • 著者名/発表者名: X. B. Zhang, M. Takeguchi, A. Hashimoto, K. Mitsuishi and M. Shimojo
  • 学会等名: 7th International Forum on Advanced Material Science and Technology (IFAMST-7)
  • 発表場所: Dalian, China
  • 年月日: 20100626-28
• [学会発表] 電子線誘起蒸着により作製した酸化モリブデンナノワイヤーの光伝導特性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 下条雅幸、牧瀬圭正、三石和貴、竹口雅樹
  • 学会等名: 日本顕微鏡学会 第66回学術講演会
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 20100523-26
• [図書] Nanofabrication using electron beam induced deposition technique; Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Shimojo, K. Mitsuishi, M. Takeguchi, M. Tanaka and K. Furuya
  • 総ページ数: 17, 209-230
  • 出版者: H. S. Nalwa ed., American Scienctific Publishers, USA