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2011 年度 実績報告書

TOF-ERDAによる軽元素分析のための反跳断面積の測定

研究課題

研究課題/領域番号 22560835
研究機関財団法人若狭湾エネルギー研究センター

研究代表者

安田 啓介  財団法人若狭湾エネルギー研究センター, 研究開発部, 主任研究員 (00359241)

キーワードイオンビーム分析 / 軽元素 / TOF-ERDA / 反跳断面積
研究概要

ヘリウムビームを用いた飛行時間測定による弾性反跳粒子検出(TOF-ERDA)法による軽元素分析では、ヘリウムを軽元素に衝突させた際の断面積データが必要となる。本研究ではヘリウムビームを入射した際の窒素、酸素、ホウ素、リチウムの反跳断面積の測定を行う。平成23年度は窒素の断面積データ取得を行った。実験は京都大学工学研究科の放射実験室で行った。タンデム加速器で加速された^4Heビームを厚さが50nmの窒化シリコン薄膜に照射し、散乱されたイオンをシリコン半導体検出器で検出した。2台の検出器を用いて散乱角が83.6°、および165°で測定を行った。散乱角83.6°は^<14>Nの反跳角がおよそ40°に相当する。ビームエネルギーを5.4~4.3MeVの間で30keVずつ変化させてデータを取得した。ビームエネルギー校正は^4He+^<12>C、^4He+^<28>Siの共鳴弾性散乱測定によって行った。厚さが50nmと非常に薄いターゲットを用いたために、ターゲット中に含まれる窒素、シリコン、および表面に蒸着した金からの弾性散乱を分離して測定することができ、窒素による散乱イベントをS/Nよく測定することに成功した。反跳角が40°(散乱角が83.6°)近辺の^4He+^<14>N断面積は測定データが存在せず、これが初めての測定データである。今後解析、を進めて断面積を求め、ヘリウムビームを用いたTOF-ERDA法による窒素定量分析のための基礎データとして用いる。また、理論計算による断面積の値との比較を行い。理論計算の信頼性をチェックする。散乱角が165°の断面積については過去の実験データおよび理論計算との比較を行う。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

3: やや遅れている

理由

平成22年度の研究で当初予定していたターゲットを別のものに変更したのと、平成23年度に使用を予定していた加速器が故障のため使用できなくなったため。

今後の研究の推進方策

平成23年度に取得したデータから^4He+^<14>N反跳断面積を求め、理論計算との比較を行う。一致がよくない場合はより低い入射エネルギー(4.3MeV以下)でのデータ取得を行う。次に、^4He+Li反跳断面積の測定を行う。実験は若狭湾エネルギー研究センターのタンデム加速器を用いることを予定しているが、稼働状況によっては京都大学工学研究科放射実験室の加速器を用いることを検討する。

  • 研究成果

    (3件)

すべて 2011

すべて 学会発表 (3件)

  • [学会発表] ヘリウムビームを用いたTOF-ERDAのための反跳断面積の測定2011

    • 著者名/発表者名
      安田啓介、石神龍哉、Chuluunbaatar Batchuluun、日比章五
    • 学会等名
      第12回イオンビームによる表面・界面解析特別研究会
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 年月日
      2011-12-09
  • [学会発表] TOF-ERDAによる軽元素分析法の開発2011

    • 著者名/発表者名
      安田啓介
    • 学会等名
      京都大学工学研究科GCOEセミナー
    • 発表場所
      京都大学(京都府)
    • 年月日
      2011-11-22
  • [学会発表] ヘリウムビームを用いたTOF-ERDAのための反跳断面積の測定2011

    • 著者名/発表者名
      安田啓介、石神龍哉、Chuluunbaatar Batchuluun
    • 学会等名
      2011年秋季第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-09-01

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公開日: 2013-06-26  

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