| 研究課題/領域番号 |
22604010
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| 研究機関 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 |
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研究代表者 |
酒井 卓郎 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (70370400)
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| 研究分担者 |
安田 良 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (20414592)
石井 保行 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量応用研究所, 研究副主幹 (00343905)
佐藤 隆博 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 高崎量応用研究所, 研究副主幹 (10370404)
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| キーワード | 中性子 / ラジオグラフィ / 空間分解能 / 微細加工 / プロトンビーム |
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| 研究概要 |
本研究では、10μm以下の空間分解能を有する中性子ラジオグラフィ技術を実現するため、その要素技術である、「中性子集光素子」と「高感度かつ高分解能の蛍光板」を開発することを目的とする。
今年度においては、プロトンマイクロビームを用いた微細加工により、中性子用光学素子の開発を主に行った。MeV級のプロトンビームは、電子ビームに比べ直進性が高く、アスペクト比の高い加工が可能である。このプロトンビームを任意の形状で描画走査するためのソフトウエアの開発を行った。さらに照射跡をエッチングで除去するための最適条件を見出して、5μm幅でアスペクト比が25以上の貫通孔を作製することに成功した。また、集光素子に加工する有機材料の任意の位置にビーム照射を行うため、光学顕微鏡による試料観察系とビーム走査系の光軸を10μm以下の精度で合致させるための改良を行った。
これらにより、微細なパターンを有機材料上に加工することが可能になり、任意の線幅を有するテストパターンを作製することに成功した。次年度において、微細加工を施した試料に中性子吸収体を蒸着することで、中性子用光学素子として利用する予定である。さらに中性子をコリメートするための微細な貫通孔を有するガドリウム板の加工を行い、10μm～50μm径の貫通孔を有するコリメーターの製作に成功した。その他、高空間分解能の蛍光板を開発するためには、クリーンブース等の清浄な環境内において作業を行う必要があるため、実験室の環境整備を行った。
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