研究課題
挑戦的萌芽研究
通常X線回折に用いられる波長より長波長である軟X線は軽元素の識別、鉄などの磁性敏感などの特性を持つため、本研究では軟X線を利用して薄膜の内部のナノ構造を評価する手法である軟X線すれすれ入射小角散乱法(GISAXS法)を実現し、元素の吸収端での異常分散効果も利用して三次元構造の評価をおこなった。薄膜の 3 次元構造の表面からの深さ依存性や薄膜と基板の異常分散効果を利用してコントラストを消す(見かけ上基板が存在しないような散乱を観察する)といった成果が得られた。
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http://mcmd.mtl.kyoto-u.ac.jp/