研究課題
挑戦的萌芽研究
本研究課題では、以下の研究成果を達成した。(1)ナノギャップでのエレクトロマイグレーションにより駆動される原子移動機構を用いた単電子トランジスタ(SET)作製技術の開発:電流源の極性を交互に変化させたアクティベーション手法を提案・検討した。極性変化を行う事で、ナノギャップ電極の双方から原子の移動が生じ、ナノギャップのより微細な構造制御や狭窄化に成功した。(2)複数のナノギャップを直列に接続した集積型ナノギャップでのSET構造の一括作製・特性制御・集積化技術の開発:アクティベーションにより2つのSET構造の一括作製および集積化を達成した。集積した2つのSETはほぼ同一の特性を有し、アクティベーション条件によりナノギャップ系SETの素子特性を同時に制御・調節しながら、SETを集積化することが可能であることが明らかとなった。さらに、本手法において得られたラテラル型Ni/真空障壁/Ni系磁性トンネル接合単体でのトンネル磁気抵抗効果(TMR)から、室温にて10%程度のTMRの観測に成功した。
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すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (5件) 備考 (1件)
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