| 研究概要 |
Siを材料としたナノ機械振動子に関しては,カンチレバータイプの振動子を作製した.本研究の目的である量子的挙動の発現を念頭におき,共振周波数を動的に制御できるデバイスを設計し,試作した.これは,静電引力によって引張応力をカンチレバー印加させることによって実現している.さらに,この静電引力を周期的に変動させることによってパラメトリック励振を誘発させることによって,振動子のQ値向上を図っている.実験により,共振周波数が動的に制御できることを確認した.また,パラメトリック励振の特性を有することを確認した.ナノ機械振動子の量子的挙動を探るうえで,ナノ機械振動子の振動特性を動的に制御できることは極めて重要である.一方,グラフェンシートの新しい作製法として,FIB-CVD法によってDLC (Diamond Like Carbon)を製膜し,これに金属薄膜を蒸着させたのちにアニールすることによって,カーボンの組織を再構成させることによってグラファイト化を図り,グラフェンシートを作製するものである.実際に製膜を行い,その断面を透過型電子顕微鏡で観察した結果,三層のグラフェンシートが形成されていることを確認した.この方法は,FIB-CVD法におけるイオンビーム走査によって所望の形状を有するグラフェンシートを作製できるため,作製したグラフェン振動子の振動特性評価が容易になるという点で,本研究の目的を達成させる上で重要な技術となる.ナノ機械振動子の加振・計測系の構築に関しては,レーザー光による加振・計測系を整備した.これは,光による加振・計測は非接触であるためナノ機械振動子に対しては有効な手段の一つである.
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